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1 109-002-(M900WHR--2001) 右流れ基板搬送部 / 基板チャック部 I/O Shielded Shielded RX /RX TX X0501 CN1A/1B /TX FG(ｺﾈｸﾀｹｰｽ) 7 3 9 5 CN2A/2B 5 9 3 7 IN OUT CN10 /TX TX /RX RX 1 2 3 CN4 CN3 2 1 CN11 CN12 CN13 CN14 CN15 CN16 CN17 CN18 CN19 …

100%1 / 141
0906-003-(M900WG---2001)
認識カメラ回路図
3-29
5OM-1501
1109-002-(M900WHR--2001)
右流れ基板搬送部 / 基板チャック部 I/O
Shielded Shielded
RX
/RX
TX
X0501
CN1A/1B
/TX
FG(ｺﾈｸﾀｹｰｽ)
7 39 5
CN2A/2B
5 93 7
IN OUT
CN10
/TX
TX
/RX
RX
1 2 3
CN4CN3
21
CN11
CN12
CN13
CN14
CN15
CN16
CN17
CN18
CN19
CN20
CN21
CN22
CN23
CN25
1
2
3
3
2
1
3
2
1
3
2
1
3
2
1
3
2
1
1
2
3
1
2
3
1
2
3
1
2
3
1
2
3
3
2
1
3
2
1
3
2
1
3
2
1
3
2
1
2
1
CN45
CN43
CN42
CN41
CN40
CN39
CN38
CN37
CN36
CN35
CN34
CN33
CN32
CN31
CN30
CN24
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
CN44
4
X0523
X0522
X0521
X0520
X0519
X0518
X0516
X0515
X0514
X0513
X0512
X0511
X0510
X0532
X0533
X0535
X0536
X0537
X0538
X0539
X0503 X0504
B41
B40
:1
:2
:3
:3
:2
:1
:3
:2
:1
Y50
Y51
:1
:2
Y50
520
511
510
532
533
535
536
537
538
539
Y56
:2
:1
:4
:3
Y56
Y55
X0517
X0525
X0524
X0540
X0541
X0542
FG(ｺﾈｸﾀｹｰｽ)
基板搬送部／基板ﾁｬｯｸ部
I/O P.C.B
Ｕ０５
+
OUT
-
青
黒
茶
B40
+
OUT
-
青
黒
茶
B41
:3
:2
:1
B42
B41
B49
:1
:2
:3
:3
:2
:1
515
519
+
OUT
-
青
黒
茶
B49
+
OUT
-
青
黒
茶
B41
512
OUT
-
L
B46
516
OUT
-
L
B48
518
B40
+
OUT
-
青
黒
茶
B4A
B4A
:B3
:A3
:B2
X2048
:A2
:B1
:A1
:1
:2
+
-
青
茶
B49
B49T
:B3
:A3
:B2
X1048
:A2
:B1
:A1
OUT
-
L
B4C
X104C
:3
:2
:1
522
OUT
-
L
B4D
:6
:5
:4
523
+
+
+
+
OUT
-
青
黒
茶
B40
:3
:2
:1
+
24A3
10A
10A
24A5
10A
24A7
X0530
X0531
Y50
Y51
:1
:2
:3
Y50
530
531
X0534
X0543
X0544
X0545
:4
:3
:4
Y54
:1
:2
Y54
534
Y57
:2
:1
Y57
A1(-)
K204
A3(+)
540
:4
:3
Y5A
Y59
:1
:2
Y59
X0502
514
:7
:2
:6
:3
ｺﾈｸﾀｹｰｽ
:7
:5
:3
:9
:9
24A7
B42
:3
:2
:1
513
+
-
青
黒
茶
OUT
B42
Ｌコンベア基板移載確認
幅異常検出
真空スイッチ
テーブルＺ軸インターロック
テーブルＺ軸補正位置
基板認識Ｙ軸インターロック
Ｌコンベア基板検出
Ｒコンベア基板到達確認
Ｒコンベア基板通過確認
基板横クランプ前進限
入力用電源
出力用電源
基板ストッパ出側
Ｌコンベア
基板ストッパ戻側
Ｌコンベア
基板ストッパ出側
Rコンベア
基板ストッパ戻側
Rコンベア
基板横クランプ出側
基板横クランプ戻側
溶剤吐出ポンプ
チャック吸引
ブロアモータ駆動
上昇
クリーニングノズル上下
下降
クリーニングノズル上下
前後ＩＦ部
X0305(CN5)
U03
操作パネル部／リレー回路部
X0201(CN1B)
U02
Rコンベア基板ストッパ上限
3-30
5OM-1501
RX
/RX
TX
X0501
CN1A/1B
/TX
FG(ｺﾈｸﾀｹｰｽ)
7 39 5
CN2A/2B
5 93 7
IN OUT
CN10
/TX
TX
/RX
RX
1 2 3
CN4CN3
21
CN11
CN12
CN13
CN14
CN15
CN16
CN17
CN18
CN19
CN20
CN21
CN22
CN23
CN25
1
2
3
3
2
1
3
2
1
3
2
1
3
2
1
3
2
1
1
2
3
1
2
3
1
2
3
1
2
3
1
2
3
3
2
1
3
2
1
3
2
1
3
2
1
3
2
1
2
1
CN45
CN43
CN42
CN41
CN40
CN39
CN38
CN37
CN36
CN35
CN34
CN33
CN32
CN31
CN30
CN24
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
CN44
4
X0523
X0522
X0521
X0520
X0519
X0518
X0516
X0515
X0514
X0513
X0512
X0511
X0510
X0532
X0533
X0535
X0536
X0537
X0538
X0539
X0503 X0504
B41
B40
:1
:2
:3
:3
:2
:1
:3
:2
:1
Y50
Y51
:1
:2
Y50
520
511
510
532
533
535
536
537
538
539
Y56
:2
:1
:4
:3
Y56
Y55
X0517
X0525
X0524
X0540
X0541
X0542
FG(ｺﾈｸﾀｹｰｽ)
I/O P.C.B
Ｕ０５
+
OUT
-
青
黒
茶
B40
+
OUT
-
青
黒
茶
B41
+
-
青
黒
茶
:3
:2
:1
OUT
B42
B42
B41
B49
:1
:2
:3
:3
:2
:1
515
519
+
OUT
-
青
黒
茶
B49
+
OUT
-
青
黒
茶
B41
512
OUT
-
L
B46
516
OUT
-
L
B48
518
B40
+
OUT
-
青
黒
茶
B4A
B4A
:B3
:A3
:B2
X2048
:A2
:B1
:A1
:1
:2
+
-
青
茶
B49
B49T
:B3
:A3
:B2
X1048
:A2
:B1
:A1
OUT
-
L
B4C
X104C
:3
:2
:1
522
OUT
-
L
B4D
:6
:5
:4
523
+
+
+
+
OUT
-
青
黒
茶
B40
:3
:2
:1
+
24A3
10A
10A
24A5
10A
24A7
X0530
X0531
Y50
Y51
:1
:2
:3
Y50
530
531
X0534
X0543
X0544
X0545
:4
:3
:4
Y54
:1
:2
Y54
534
Y57
:2
:1
Y57
A1(-)
K204
A3(+)
540
:4
:3
Y5A
Y59
:1
:2
Y59
X0502
514
:7
:2
:6
:3
ｺﾈｸﾀｹｰｽ
:7
:5
:3
:9
:9
24A7
B42
:3
:2
:1
513
基板搬送部／基板ﾁｬｯｸ
部
Ｌコンベア基板移載確認
Ｌコンベア基板ストッパ上限
幅異常検出
真空スイッチ
テーブルＺ軸インターロック
テーブルＺ軸補正位置
基板認識Ｙ軸インターロック
Ｌコンベア基板検出
Ｒコンベア基板到達確認
Ｒコンベア基板通過確認
基板横クランプ前進限
入力用電源
出力用電源
基板ストッパ出側
Ｌコンベア
基板ストッパ戻側
Ｌコンベア
基板ストッパ出側
Rコンベア
基板ストッパ戻側
Rコンベア
基板横クランプ出側
基板横クランプ戻側
溶剤吐出ポンプ
チャック吸引
ブロアモータ駆動
上昇
クリーニングノズル上下
下降
クリーニングノズル上下
前後ＩＦ部
X0305(CN5)
U03
操作パネル部／リレー回路部
X0201(CN1B)
U02
1109-001-(M900WBB--2008)
左流れ基板搬送部 / 基板チャック部 I/O
3-31
5OM-1501