5OM-1501-006_w - 第123页
4-10 5OM-1501 4 5 4 4 4 4 6 6 5 5 4 4 5 5 4 5 5 6 5 5 4 4 5 5 5 5 5 4 5 5 5 5 5 5 5 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 6 6 6 6 6 5 5 5 6 6 4 4 6 4 4 3 6 6 6 6 6 6 6 6 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5 4 5 5 5 5 4 4 4 4 5 3 3 3 3 3 …

4-9
5OM-1501
テーブル部ハーネス接続資料 1
0906-001-(209004048-1)
融着ケーブル
テーブル幅軸原点
B251
X1251 X251
PX-119
X5000 X5001
B233
X1231 X233
PX-113
基板バックアップ上下軸原点
B231
基板バックアップ上下軸+オーバーラン
B232
基板バックアップ上下軸-オーバーラン
B48
X1048 X2048
基板横クランプ前進限
PX-077
幅異常検出(受光側)
B49
B49T
幅異常検出(投光側)
B49
B49T
ケーブルベア
X510 X1510
PX-157
M51
テーブル基板搬送2モーター
M51
X170 M17
X1175 X175
X2170
X4170
X1170
M17B
青
テーブルZ軸モーター
M
PG
M17
X230 M23
X1235 X235
X1230
X4230
X2230
M23E
基板バックアップ上下軸モーター
M
PG
M23
X23B
青
M25X250
M25
テーブル幅軸モーター
X1490X490
PX-155
M49
テーブル基板搬送1モーター
M49
テーブルθ軸モーター
M
PG
M21
X211
B211
テーブルθ軸原点
B212
テーブルθ軸+オーバーラン
B213
テーブルθ軸-オーバーラン
PX-103
M21
X215
PX-105
PX-107
X210
X1215
X171
B171
テーブルZ軸原点
B172
テーブルZ軸テーブル+オーバーラン
B4D
テーブルZ軸補正位置
PX-093
X104C
B4C
テーブルZ軸インターロック
B173
テーブルZ軸テーブル+オーバーラン
ケーブルベア
注1
注1
IO-M25
IO-M23
IO-N05
MO-M51
MO-Z
EN-Z
MO-M23
EN-M23
MO-M25
MO-M49
ハーネス PX-118:X1251に接続
ハーネス PX-112:X1231に接続
ハーネス PX-076:X1048に接続
ハーネス PX-156:X510に接続
ハーネス PX-094:X170に接続
ハーネス PX-096:X1175に接続
ハーネス PX-094:X2170に接続
ハーネス PX-094:X4170に接続
ハーネス PX-095:X1170に接続
ハーネス PX-114:X230に接続
ハーネス PX-116:X1235に接続
ハーネス PX-114:X1230に接続
ハーネス PX-114:X4230に接続
ハーネス PX-115:X2230に接続
ハーネス PX-120:X250に接続
ハーネス PX-154:X490に接続
ハーネス PX-104:X210に接続
ハーネス PX-106:X1215に接続
ハーネス PX-102:X211に接続
ハーネス PX-091:X171に接続
ハーネス PX-079:X104Cに接続
予 備

4-10
5OM-1501
4
5
4
4
4
4
66
5 5
4 4
55
4
5 5
6
5 5
4
4
5 5
5 5
5
4
55
5
55
55
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4444
6 6 6 6
6
5
5 5
6
6
4 4
6
4 4
3
6
6
6
6
666
6
5 5
55
5 5
55
5 5
4
5 5
5 5
4
4
4
4
5
33
3 3
3 3
6
4
4
4
A
A
SECT A-A
M23 M17
B
B
M25
M51
M49
M51
C
C
8
4
4
4
4
4
SECT C-C
5
4 4
55
6
4
8
3
3
4
5 5
44
4
4
5 555
B251
3
3
M49
B233
4
3
3
3
3
4
3 3
M51
B49(受光側)
4
M25
SECT B-B
B233
B49T(投光側)
M23
B49T
B48
M51
B49
M21
+ -
B211
B212
B213
融着ケーブル
融着ケーブル
MO-M23用
MO-Z用
B231(センサ上側)
B232(センサ下側)
X251
X233
X2048
X1510
M17
M17B
X175
M25
X1490
M23
M23E
X23B
X235
M49
X5001
コネクタ
コネクタ
コネクタ
コネクタ
バックアップテーブル裏面に固定
コネクタ M49
テーブル部ハーネス接続資料 2
0906-001-(209004048-2)

4-11
5OM-1501
スクリーンホルダ部ハーネス接続資料
0906-001-(20900300F)
スクリーンクランプ解除確認
B6F
X1271
ハーネス PX-121:X1271に接続
M27
ハーネス PX-124:X270,X1270に接続
X270
M27
PX-122
PX-125
X271
B6F
予備
下段側
X1270
スキージ駆動軸モーター
M27E
X106F
X5004
ハーネス PX-163:X106Fに接続
予 備
X5005
B271
スキージ駆動軸原点
B273
B274
スキージ駆動軸-オーバーラン
スキージ駆動軸回転原点
B271
PX-123
6
6 6
6
6
55555555
5
6
5
888
4 4 4
4
4
4
3 3
3
3
B273
B274
5
5 5
5
66
66
6
44
4
M27
B6F
6
6
66
5
5 5
5
5
555555
M27,M27E
コネクタ
コネクタ
X271,B6F,X5005
コネクタ
X1271,X106F
コネクタ
X270
X1270
X5004
ケーブルベア
ケーブルベア
下段側