5OM-1501-006_w - 第38页
0810-001 エアについて 本体装置には、空気圧が 0.45 ～ 0.69 MPa (4.6 ～ 7 kgf/cm 2 ) で、水分、油分お よび塵埃 ( ダスト ) を含まない空気 ( ドライクリーンエア ) を供給してくださ い。水分などを多く含むエア を使用すると、装置内部に それらが付着し、正常な 動作をしなくなるおそれがあります。 ノート ドライクリーンエアとは 水 分 ： 露点 -17 ° C 以下 ( 大気圧 ) 油 …
0810-001
電気ノイズなどが入らない場所であること。
装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し
てください。
可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。
油煙またはほこりがない場所であること。
水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。
メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。
前後工程におけるコンベアの状況および装置の状況により、基板供給部また
は基板排出部のコンベア開口部が大きい場合には、隙間ができないように、
お客様において処置を施してください
供給電源について
本体装置に供給する電源は、以下の容量であることを確認してください。
•
電圧 ： 3 相 AC 200V
±
20V
•皮相
電力 ： 約 7.7 kVA 以下
電圧が変動
したり、電源ラインにノイズが重なる場合、本装置に悪影響を及ぼす
ばかりでなく、装置が誤動作して事故の原因になることがあります。
他設備などにノイズ発生防止などの処置を施してください。
1
次電源の準備および接続は、貴社にて対応願います。
•
装置の一次電源引き込み部への接続は、はじめに接地ライン (PE) を接続し
てください。
•
接地 (PE) は、D 種接地工事 ( 旧第 3 種接地工事 ) 以上としてください。
•
接地ラインは、他のケーブル (L1、L2、L3) よりも余裕をもった長さで接続
してください。
装置へ給電するブレーカが漏電ブレーカである場合は、定格感度電流が 60 mA
以上で高周波成分をキャンセルするブレーカであることを確認してください。
•
漏洩電流 : 30 mA 以下
一般的に漏電ブレーカは、漏洩電流が定格感度電流の 50 % 以下であればトリッ
プすることはありませんが、50 % を超えるとトリップすることもあります。
また、電源に高周波などの高周波成分が含まれていると装置が正常でも漏洩電流
が増えることになり、高周波成分をキャンセルできない漏電ブレーカでは誤動作
のおそれがあります。
5.正しくお使いいただくための注意事項
安全 -24
安全にお取扱いいただくために
1OM-1501
0810-001
エアについて
本体装置には、空気圧が 0.45 ～ 0.69 MPa (4.6 ～ 7 kgf/cm
2
) で、水分、油分お
よび塵埃 ( ダスト ) を含まない空気 ( ドライクリーンエア ) を供給してくださ
い。水分などを多く含むエアを使用すると、装置内部にそれらが付着し、正常な
動作をしなくなるおそれがあります。
ノート
ドライクリーンエアとは
水 分 ： 露点 -17
°
C 以下 ( 大気圧 )
油 分 : 0.1mg/
m
3
以下 (ANR)
ダスト : 固形物 0.01
m
m 以下
データのバックアップについて
装置の故障や誤操作などで、データが使えなくなる場合があります。 万一に備え
て、コンパクトフラッシュカードの内容をネットワークターミナル ( オプショ
ン ) に定期的にバックアップしてください。
コンピュータウィルスについて
プログラムやデータが急に壊れたり、予測できない動作をしたり、操作パネルに
異常な画面が表示されるときは、コンピュータがコンピュータウィルスに感染し
た可能性があります。
コンピュータウィルスとは、コンピュータに密かに侵入し、コンピュータを勝手
に動かしたり、データを破損する悪質なプログラムのことです。
また、そのようなコンピュータウィルスを除去するプログラムをワクチンプログ
ラムといいます。
コンピュータウィルスが感染したコンピュータからの通信やコンピュータウイル
スに感染した記録媒体を介してコンピュータウィルスが感染することがありま
す。
装置内蔵のコンピュータがコンピュータウィルスに感染するおそれのある場合
は、ワクチンプログラムでチェックしてください。
ただし、ワクチンプログラムの種類によって、コンピュータのウィルスを取除く
ことができないことがあります。
このような場合のためにも、事前にデータのバックアップを必ずとっておいてく
ださい。
5.正しくお使いいただくための注意事項
安全 -25
安全にお取扱いいただくために
1OM-1501
停電について
停電または落雷などによる電源の瞬時電圧低下により、本装置に内蔵されている
コンピュータが故障したり、基本ソフトウェア、応用ソフトウェアまたはデータ
が破損することがあります。
電源の瞬時電圧低下対策としては、交流無停電電源装置などを使用されることを
お勧めします。
本装置内蔵のコンピュータについて
本装置には、本装置内部の各機構の制御、各種データの保存、ユーザインタフェー
スの実現などのためにコンピュータが内蔵されています。
本装置の電源を切る場合、コンピュータのアクセス動作中に電源が切られると、
コンピュータが故障したり、記憶されているデータやソフトウェアが破壊される
ことがあります。
本装置の電源を切る方法は、“1 巻 2 章 4.2 電源の遮断”を参照してください。
装置を長時間停止した場合、立上げ時の注意
装置を長時間停止した場合は、装置の立上げをスムーズに行うため、30 分くら
いの慣らし運転を行ってください。
慣らし運転については、“1 巻 3 章 6. 慣らし運転”を参照してください。
1109-004
5.正しくお使いいただくための注意事項
安全 -26
安全にお取扱いいただくために
1OM-1501