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エア配管図（エアコンビネーション、ブロア） 0906-003-(1090000201) 設定 0.45ＭＰａ (4.6kgf/cm 2 ) ｜５０ダクト M ｜１９ダクト 排気方向 吸引方向 ｜３５ダクト ｜５０ダクト ブロアーユニット切替え部 基盤吸着治具 クリーニング部 設定 0.35ＭＰａ （3.6ｋｇｆ／ｃｍ ２ ) φ10 L1500 φ4 L800 SET OUT PRESSURE SET OUT PRESSURE G G …
エア配管図（全体）
0906-003-(1090000201)
クリーニングユニット
φ4
切り替えシャッタ ー
φ6
φ6
φ6
φ6
φ6
1/8
1/8 1/8
1/8
設定 0.45ＭＰａ
(4.6kgf/cm
2
)
φ4
φ6
P
R
A
｜５０ダクト
M
φ4
φ4
φ4
φ4
φ6
φ6
φ6
Y071
Y070
上昇
スクリーン上押さえ
（右側奥）
スクリーン上押さえ
（右側）
スクリーン上押さえ
（左側）
スクリーン上押さえ
（左側）
｜１９ダクト
ロック ロック
排気方向
吸引方向
ロックロック
真空吸引部
スクリーンホルダ部
｜３５ダクト
｜５０ダクト
ブロアーユニット切替え部
φ6
φ10
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
スキ－シ゛後上下
スキ－シ゛前上下
φ6
基盤吸着治具
チャック吸引
φ6
φ6
φ6
φ4
L2500
φ4
L2700
スキージ後クランプ
スキージ前クランプ
設定 0.35ＭＰａ
（3.6ｋｇｆ／ ｃｍ
２
）
R1
P
P
A
EXH
OUT
SUP
ロックロック
上昇
Y090
Y091
φ6
下降
クリーニンク"上下
φ6
φ6
クリーニング吸引
φ6
φ4
φ4
φ4
φ4φ4
φ4
φ4
スキ－シ¨中間ストッパー
スキ－シ¨中間ストッパー
上昇
上昇
1/8
φ6
φ4
SC2
φ6
φ6
L1100
φ6 L1600
φ6
L2300
φ6
L1500
φ6
L2000
φ6 L1700
φ6
L2600
φ6
L900
φ6
L1500
フラットケーブル
ケーブルベア
φ4
L2600
ケーフ″ルヘ″ア
ケーフ″ルヘ″ア
φ10
L1500
φ4
L800
φ6
L1800
溶剤タ ンク
架台に設置
Y57
Y56
φ4 L250
Lコンヘ″ア基板ストッハ°
Rコンヘ″ア基板ストッハ°
基板チャック
A
B
A
B
基板押え
左吸着ヘッド上下
R2
R1
B
A
PD
PE
PS
PV
PD
PE
PS
PV
配管φ6.0
配管φ6.0
1700mm
配管φ6.0
1700mm
右吸着ヘッド上下
基板ストッパ
φ4
L4000
φ4
L4000
Y55
Y54
Y51
Y50
Y51
Y50
φ4 L1700
SET
OUT
PRESSURE
SET
OUT
PRESSURE
G
G
SET
OUT
PRESSURE
SET
OUT
PRESSURE
G
G
SET
OUT
PRESSURE
SET
OUT
PRESSURE
G
G
SET
OUT
PRESSURE
SET
OUT
PRESSURE
G
G
1-1
5OM-1501
エア配管図（エアコンビネーション、ブロア）
0906-003-(1090000201)
設定 0.45ＭＰａ
(4.6kgf/cm
2
)
｜５０ダクト
M
｜１９ダクト
排気方向
吸引方向
｜３５ダクト
｜５０ダクト
ブロアーユニット切替え部
基盤吸着治具
クリーニング部
設定 0.35ＭＰａ
（3.6ｋｇｆ／ｃｍ
２
)
φ10
L1500
φ4
L800
SET
OUT
PRESSURE
SET
OUT
PRESSURE
G
G
1
3
2
4
6
5
No. 名称 個数
1 コンビネーションユニット 1
2 圧力スイッチ 1
3 エア圧検出 1
4 ブロア 1
5 管継手 1
6 フィルタ 1
1-2
5OM-1501
エア配管図（スクリーンホルダ、スキージヘッド）
0906-003-(1090000201)
φ4
P
R
A
φ4
φ4
φ4
φ4
φ6
φ6
Y071
Y070
上昇
スクリーン上押さえ
（右側奥）
スクリーン上押さえ
（右側）
スクリーン上押さえ
（左側）
スクリーン上押さえ
（左側）
ロック
ロック
ロックロック
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
スキ－シ゛後上下
スキ－シ゛前上下
φ6
φ4
L2500
φ4
L2700
スキージ後クランプ
スキージ前クランプ
R1
P
P
A
EXH
OUT
SUP
ロック
ロック
上昇
φ4
φ4
φ4
φ4φ4
φ4
φ4
スキ－シ¨中間ストッパー
スキ－シ¨中間ストッパー
上昇
上昇
φ6
L1100
φ6
L2300
φ6
L1500
φ6
L2000
φ6 L1700
φ4
L2600
ケーフ″ルヘ″ア
ケーフ″ルヘ″ア
SET
G
G
11
12
13
29
13
30
17
17
2626
14
16
25
29
27
15
18
18
19
28
23
24
20 20
19
21
22
No. 名称 個数
11 レギュレータ 1
12 電空レギュレータ 1
13 ユニオンワイ 2
14 ストレートエルボ 1
15 管継手 1
16 ソレノイドバルブユニット 1
17 スピードコントローラ 2
18 メカバルブ 2
19 サイレンサ 4
20 シリンダ 2
21 メカバルブ 1
22 サイレンサ 2
23 シリンダ 1
24 シリンダ 3
25 ソレノイドバルブ 1
26 スピードコントローラ 4
27 サイレンサ 2
28 シリンダ 2
29 ユニオンワイ 4
30 シリンダ 2
1-3
5OM-1501