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5OM-1501 0810-001 2-A 2 章 部品配置図およびセンサ ･ 負荷配置図 この章 では、各 部の レイア ウト および センサ ･ 負荷配置図 を記載 して いま す。高度な内容を含みますので、参照する場合は、十分ご注意ください。
エア配管図（クリーニングユニット）
0906-003-(1090000201)
φ4
切り替えシャッタ
φ6
φ6
φ6
φ6
φ6
1/8
1/8 1/8
1/8
チャック吸引
Y059
Y05A
φ6
下降
クリーニンク"上下
φ6
φ6
クリーニング吸引
φ6
1/8
φ6
φ4
SC2
φ6
φ6 L1600
溶剤タ ンク
架台に設置
Y57
Y56
φ4 L1700
SET
G
G
51
52
54
56
59
57
58
55
53
No. 名称 個数
51 ソレノイドバルブユニット 1
52 スピードコントローラ 2
53 シリンダ 1
54 スピードコントローラ 4
55 シリンダ 2
56 レギュレータ 1
57 真空バルブ 1
58 スピードコントローラ 2
59 圧力ゲージ 1
1-6
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章
部品配置図およびセンサ ･ 負荷配置図
この章では、各部のレイアウトおよびセンサ ･ 負荷配置図を記載していま
す。高度な内容を含みますので、参照する場合は、十分ご注意ください。
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