5OM-1501-006_w - 第59页
テーブル部 (X 軸、 θ 軸) 記 号 名 称 記 号 名 称 B191 テーブル X 軸原点 M19 テーブル X 軸モータ B192 テーブル X 軸 + オーバーラン M21 テーブル θ 軸モータ B193 テーブル X 軸 − オーバーラン B211 テーブル θ 軸原点 B212 テーブル θ 軸 + オーバーラン B213 テーブル θ 軸 − オーバーラン 0906-002 B193 B212 B213 B211 M2…
スクリーン認識部
記 号 名 称 記 号 名 称
B311 スクリーン認識 X 軸原点 M31 スクリーン認識 X 軸
モータ
B314 スクリーン認識 X 軸
回転原点
B03 スクリーン認識カメラ
B3121 スクリーン認識 X 軸
+ オーバラン１
E72 基板認識照明
B3122 スクリーン認識 X 軸
+ オーバラン２
B3131 スクリーン認識 X 軸
- オーバラン１
B3132 スクリーン認識 X 軸
- オーバラン２
0906-002
E72
B03
M31
B311
B3121
B3122
B3132
B3131
B314
2-3
5OM-1501
テーブル部 (X 軸、θ 軸)
記 号 名 称 記 号 名 称
B191 テーブル X 軸原点 M19 テーブル X 軸モータ
B192 テーブル X 軸
+ オーバーラン
M21 テーブル θ 軸モータ
B193 テーブル X 軸
− オーバーラン
B211 テーブル θ 軸原点
B212 テーブル θ 軸
+ オーバーラン
B213 テーブル θ 軸
− オーバーラン
0906-002
B193
B212
B213
B211
M21
B192
B191
M19
2-4
5OM-1501
基板チャック部
記 号 名 称 記 号 名 称
B251 テーブル幅軸原点 M25 テーブル幅軸モータ
B48 基板横クランプ前進限 M49 テーブル基板搬送 1
B49 幅異常検出 M51 テーブル基板搬送 2
0906-002
B49
B251
M51
B48
M25
B49
M49
2-5
5OM-1501