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クリーニング部 記 号 名 称 記 号 名 称 B80 溶剤切れ予告 M02 ペーパ巻き取りモータ B81 クリーニングノズル上限 Y56 溶剤吐出ポンプ B82 クリーニングノズル下限 Y57 チャック吸引 B83 ペーパ送りピッチ検出 Y59 クリーニングノズル上下 上昇 B84 ペーパ切れ予告 Y5A クリーニングノズル上下 下降 0906-002 Y57 B84 Y56 B81 B82 B83 Y59 Y5A M02 B80 2…
コンベア (R)
記 号 名 称 記 号 名 称
B371 R コンベア幅軸原点 M37 R コンベア幅軸
B40 R コンベア基板到達確認 M41 R コンベア基板搬送 1
B41 R コンベア基板通過確認 M43 R コンベア基板搬送 2
Y50 R コンベア基板ストッパ
出側
Y51 R コンベア基板ストッパ
戻側
0906-002
M41
M37
M43
B371
B41
B40
Y50
Y51
2-10
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クリーニング部
記 号 名 称 記 号 名 称
B80 溶剤切れ予告 M02 ペーパ巻き取りモータ
B81 クリーニングノズル上限 Y56 溶剤吐出ポンプ
B82 クリーニングノズル下限 Y57 チャック吸引
B83 ペーパ送りピッチ検出 Y59 クリーニングノズル上下
上昇
B84 ペーパ切れ予告 Y5A クリーニングノズル上下
下降
0906-002
Y57
B84
Y56
B81
B82
B83
Y59
Y5A
M02
B80
2-11
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真空吸引部 ( ブロア )
記 号 名 称 記 号 名 称
B85 クリーニング吸引側 M01 ブロアモータ
B86 チャック吸引側
0903-001
B85
B86
M01
2-12
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