KE-2050_2060故障检修 - 第106页
故障检修 錯誤消息集 3-87 要运行 MTC 时, MTC 处于紧急停止状态。 [ 解决 ] 请解除 MTC 紧急停止状态。 E29 1 035 未输入基板数据。 [ 原因 ] 因基板数据不完整,所以不能进行 BOC 排列。 [ 解决 ] 请完成基板数据。 E29 1 036 在设置中,共面检测器没有被选用。 [ 原因 ] 在机器设置中,共面检测器没有被选用 [ 解决 ] 机器设置中,把共面检测设置成使用状态。 Q29 1 500 识…

故障检修 錯誤消息集
3-86
没有基板固定在传送缓冲区上。如果没有基板,就不能识别 BOC 标记。
[解决]
请装载要碱性 BOC 校准的基板。
E291023 在设置中,自动调整基板幅宽没有被选用。
[原因]
在设置中,没有选用自动调整基板幅宽。
[解决]
如果可以使用自动调整基板幅宽功能,那就在设置中选用自动调整基板幅宽。
如果不能使用自动调整基板幅宽,就不能执行此操作。
E291024 BOC 标记信息发送失败 [ ID : ? ]
[原因]
BOC VCS。 ? : BOC ID
[解决]
请重新示教标记数据。
E291025 因伺服被关闭, 不能运行。
[原因]
没有起动伺服。
[解决]
请起动伺服,并执行原点返回。
E291026 请取下传送轨道上基板。
[原因]
因为搬送轨道上有基板,不能执行[自动调整基板宽度]。
[解决]
请取下传送轨道上基板后,再执行一次。
E291027 因为固定基板操作未结束,所以不能运行 BOC 校准。
[原因]
固定基板操作未结束时,不能运行 BOC 校准
[解决]
请重新运行基板搬入操作后,运行 BOC 校准。
E291028 设备选择有错误。
[原因]
被选择的站台设备和发生标记错误的站台不同。
[解决]
请用其它站台设备再试一次。
E291029 MTC 电源未打开。
[原因]
要运行 MTC 时,没有打开 MTC 电源。
[解决]
请打开 MTC 电源。
E291030 没有连接 MTC。
[原因]
要运行 MTC 时,没有连接 MTC。
[解决]
请用 MTC 的 HOD 连接 MTC。
E291031 MTC 未初始化。
[原因]
要运行 MTC 时,没执行 MTC 初始化。
[解决]
请用 MTC 的 HOD 执行 MTC 的初始化。
E291032 MTC 处于补充状态。
[原因]
要运行 MTC 时,MTC 处于补充状态。
[解决]
请按一下 MTC 补充按钮,解除 MTC 补充状态。
E291033 MTC 传送没有进行初始化。
[原因]
要运行 MTC 自动调整宽度时,发现没有运行 MTC 传送初始化。
[解决]
请用 MTC 的 HOD,运行传送初始化。
E291034 MTC 处于紧急停止状态。
[原因]

故障检修 錯誤消息集
3-87
要运行 MTC 时,MTC 处于紧急停止状态。
[解决]
请解除 MTC 紧急停止状态。
E291035 未输入基板数据。
[原因]
因基板数据不完整,所以不能进行 BOC 排列。
[解决]
请完成基板数据。
E291036 在设置中,共面检测器没有被选用。
[原因]
在机器设置中,共面检测器没有被选用
[解决]
机器设置中,把共面检测设置成使用状态。
Q291500 识别 BOC 标记失败。 继续,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
图像处理设备(VCS)不能识别 BOC 标记。
[解决]
BOC 标记可能没有被正确示教。
Q291501 被用户中断。 继续,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
因按下<STOP>按钮,所以停止运行。
[解决]
要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291502 执行 BOC 校准,请注意安全。 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
将进行轴移动操作,提醒注意安全。
[解决]
要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291505 轴往等待位置移动,请注意安全。 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
将进行轴移动操作,提醒注意安全。
[解决]
要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291506 移动基板幅宽,请取下基板和摇把。 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
因为将进行调整基板宽度,所以提示是否已经取下传送轨道上的基板,或者摇把等的询问。
[解决]
要执行,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291507 没有结束调整基版宽度的原点返回。是否执行原点返回? 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
因为没有完成调整基板宽度回原点操作,所以提示是否执行原点返回的询问。
[解决]
要执行,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291508 是否也移动 MTC 装置的基板幅宽? 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
询问是否移动 MTC 传送宽度。
[解决]
如果要移动按一下[是],否则按一下[否]。
I291509 请联接 MTC。
[原因]
要运行 MTC 时,没有连接 MTC。
[解决]
请用 MTC 的 HOD 连接 MTC。
Q291510 虽然真空台已被安装,是否也移动基板幅宽? 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
真空台已被安装时,询问是否要运行自动调整基板宽度。
[解决]
如果要运行请按一下[是],要停止,就按一下[否]。

故障检修 錯誤消息集
3-88
标记数据库
标记数据库标记数据库
标记数据库
E292000 没有注册数据。
[原因]
标记数据库上的注册数据为 0 件的状态下,却执行了一下操作。
1. 在标记数据库管理画面上,单击[重新命名(C)]键或[删除(D)]键。
2. 标记数据库注册画面上,单击[覆盖注册(A)]键。
3. 图像复制画面上,单击[复制(C)]键。
[解决]
标记数据库上的注册数据为 0 件时,不能执行以上 1~3 的操作。
E292001 请选择标记。
[原因]
1. 在标记数据库管理画面上,单击[重新命名(C)]键或[删除(D)]键,但没有选择目标标记。
2. 图像复制画面上,单击[复制(C)]键,但没有选择目标标记。
[解决]
请选择目标标记。
E292002 注册数已满,不能再注册。
[原因]
因为标记数据库的注册数据已满(限制为 100 件),所以不能再注册新的数据。
[解决]
请在标记数据库管理画面上,删除无用的标记。
E292003 已经存在同样注册名的标记。
[原因]
已经存在同样注册名的标记
1.
在标记数据库管理画面上,单击[重新命名(C)]键显示标记数据名更改画面。在此画面上,输入
的“更改后的文件名”已经在数据库上存在。
2.
标记数据库注册画面上,单击[新建(N)]或[覆盖注册(A)]键时,输入的“新文件名”已经在数据
库上存在。
[解决]
请输入标记数据库上不存在的其它文件名。
E292004 请输入注册名。
[原因]
请输入注册名
1.
数据库管理画面上,单击[重新命名(C)]键显示标记数据名更改画面。在此画面上单击[确定]键,
但没有输入“更改后的文件名”。
2.
标记数据库注册画面上,单击[新建(N)]或[覆盖注册(A)]键时,没有输入“注册文件名”。
[解决]
请输入标记名。
E292005 请选择注册区域。
[原因]
标记数据库注册画面上,单击[覆盖注册(A)]键时,没有选择要覆盖的标记。
[解决]
请选择要覆盖的标记。
E292006 被选标记的识别类型与基板数据上的设置不相同。
[原因]
标记识别种类为多值识别时,要复制二值化标记数据情况。
[解决]
请选择适当的标记数据。
E292007 标记类型跟设置的类型不相同。
[原因]
粘贴复制数据领域的标记数据类型不同。
[解决]
请先删除标记数据,然后再复制标记数据。
Q292501 是否删除被选定的标记数据?
[原因]
在标记数据库管理画面上,单击[删除(D)]键时,显示确定画面。
[解决]
要删除标记,请单击[确定];要保留,请单击[取消]。
Q292502 已经存在同样注册名的标记,是否覆盖保存?