維修資料.pdf - 第6页
PI(SH) Training Center 三、工作台平行度调整: 检测点为盖板内侧 调整螺钉 • 规格值 : 平行度± 0.02mm • 检测 : 1. 将百分表吸在前面 BEAM 上 检测 XY-TABLE 固定侧 . 2. 再将百分表移至后面 BEAM 上检测 XY TABLE 固定侧 • 调整 : 松开 XY TABLE 上盖板螺钉 , 调 整盖板

PI(SH) Training Center
二、工作台平面度确认:
紧固螺钉
偏心轮
•规格值:
XY-TABLE打开460mm ,0.1mm
•检测:
1.将百分表吸附在BEAM上,表
针设定在绿色传输带上
2.以右侧为基准检查导轨平
面度(四点)
•调整:
1.松开左下图四颗紧固螺钉
2.利用套筒扳手松开M4螺母
在使用十字起子调整反面偏心轮.

PI(SH) Training Center
三、工作台平行度调整:
检测点为盖板内侧 调整螺钉
•规格值:
平行度±0.02mm
•检测:
1. 将百分表吸在前面BEAM上
检测XY-TABLE固定侧.
2. 再将百分表移至后面BEAM
上检测XY TABLE固定侧
•调整:
松开XY TABLE上盖板螺钉,调
整盖板

PI(SH) Training Center
四、SUPPORT PIN高度调整:
0-0.1mm
support
调整
螺钉
•规格值:
XY-TABLE高于SUPPORT
PIN 0 - 0.1mm
需确认四点,且每点必须
稳固。
•检查:
使用百分表吸着在X-
BEAM上进行检测。
•调整:
每个TABLE四周都有调整
螺钉可进行调整。