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D3 9 维护段位器光栅盘
2008 年 8 月中文版 8.1 维护双贴片头
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⑤ 在孔内顺时针转动 1.4 mm 钻头，清除纵向真空孔内的污物。
转动钻头，清除孔内的污物。
⑤ 使用 1.1 mm 钻头清除横向真空孔内的污物。
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请戴上实验室手套完成这一步骤。 9
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③ 检查段位器光栅盘虹吸盘是否损坏。
如果损坏，则更换。
③ 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。
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① 用浸有无水乙醇的无纺布仔细清洁段位器光栅盘的边缘。
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② 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘的增量盘。
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③ 用浸有无水乙醇的无纺布仔细清洁段位器光栅盘的轴。
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④ 用浸有无水乙醇的脱脂棉签仔细清洁球状收集盘的边缘。
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