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H01/H02-NCETB-NOZZLESTATION(forTRAYUNIT-LT,withCOPLANARITYSENSOR) H01/H0 2-NCET B-ノ ズルス テーシ ョン( トレイ ユニッ ト-L T用、 コプラナ リティセ ンサ有 ) UL04701 No. Drg.No.&CodeNo. Q TY Description Rating Materials Remarks 番号 図番 &a…

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H01/H02-NCETB-NOZZLESTATION(forTRAYUNIT-LT,withCOPLANARITYSENSOR)
H01/H02-NCETB-ノズルステーション(トレイユニット-LT用、コプラナリティセンサ有)
UL04701
No. Drg.No.&CodeNo. QTY Description Rating
Materials
Remarks
番号 図番&ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 材質 備考
1 PB85032 1 SHUTTER シャッタ FE
2 PX00091 1 NAMEPLATE 銘板 PL
3 PM34585 6 PIN,GUIDE ピンガイド FE
4 PZ29951 6 BOLT ボルト OT
5 AA5GE03 1 HOLDER ホルダ OT
6 AA81L01 1 BLOCK ブロック OT
7 H5359H 2 SCREW,HEXSOCKETCOUNTERSUNK 小ネジ六角穴皿 M04X010 FE
8 AA0HK05 1 GUIDE ガイド OT
9 H5359H 2 SCREW,HEXSOCKETCOUNTERSUNK 小ネジ六角穴皿 M04X010 FE
10 PB85010 1 DOG,SW ドッグＳＷ FE
11 K51756 4 SCREW,C/RPAN 小ネジ十穴鍋 M02.5X005ｽﾃﾝﾚｽ FE
12 W1020H 4 WASHER,LOCK ワッシャスプリング 2.5M/M FE
13 PX07142 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber
14 PX07152 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber
15 PM0K0H0 1 PIN,GUIDE ピンガイド FE
16 K5169M 1 SCREW,C/RCOUNTERSUNK 小ネジ十穴皿 M02X005ｽﾃﾝﾚｽ FE
17 PM04923 1 PIN ピン FE
18 PZ05022 1 SPRING,TENSION ス
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