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59 6-8 マ ルチダ イサーバ 6-8-1 概要 本装置 DF01 （ マルチダイサ ーバ、以下 本装置）は、小 型化の進む Sip （ Syste m In Package ）、 MCM （ Mult i Chip Modul e ） などの部 品 / デバイス系の 混載プロセ ス におい て、ウェ ハまたはワ ッフルトレ イからベアチ ップを実装 機に 供給す る装置です。 フェイスアップまたはフ ェイスダウ ン（フリップ）供給…
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6-7-4 オプション
No.
名称
機能・対象機種（注
1
）
TR5SNX
TR5DNX
TR6SNV
TR6SXLX
TR6DNV
TR6DXLX
TR7DN
① 検査コンベア仕様
コンベア上で基板をストップし、基板を目視検査する機能です。
-
-
○
○
-
②
自動基板幅調整
機能
マウンタの自動幅調整機能に連動して搬送幅を自動調整します。
-
-
○
○
-
③ シーソーノズル
ソケット部品などで吸着面に段差があり、隣の吸着パッドに部品が当たって
しまう場合、吸着パッドがシーソーの動作をして部品の干渉を防ぐユニットで
す。
-
-
○
○
-
④ FBGA チャック
FBGA
などのサイズが小さい部品に対応するメカニカル式チャックです。□
9mm
～□
43mm
の部品に対応します。
-
-
○
○
-
⑤ 部品切れ表示機能
部品切れになったトレイの段数がすぐ分かるように
LED
ボタンを点灯させる
機能です。また、その
LED
ボタンを押すことで満杯補充ができます。
-
○
○
○
○（注
2
）
⑥ 超低速モード(注 3)
部品が供給されているトレイベースを引き出し・収納する場合、部品の飛び
跳ねを防止するため、モータおよびシリンダの速度をより低速にする機能で
す。速度の設定は生産プログラムで行います。
○
○
○
○
○
⑦
開閉カバー付き
スタッカ
トレイベースをスタッカにセットする際、トレイベース自身が飛び出してしまうの
を防止するために、トレイベースの段差をなくしてトレイベース固定用のカバー
をつけたスタッカです。
○
○
○
○
○
⑧ シグナルタワー (注 4)
ノンストップ用の
2
灯式シグナルライトです。
-
-
-
○
-
⑨
2 インチ
ワッフルトレイホルダ
□
50mm
のワッフルトレイをセットするためのトレイホルダです。
○ ○ ○ ○ ○
⑩ RFID 機能対応
RFID
リーダ（アンテナ）を追加することでトレイベースに付いている
RFID
タグ
を読み取り可能にします。
使用するにあたり、マウンタ本体の対応の IFS-NX が必要です。
詳細は、『
IFS-NX
機器仕様書』をご確認ください。
○
○
○
○
○
注 1：TR シリーズの上記機能は工場出荷オプションです
注 2：TR7DN は標準機能になります。
注 3：超低速モードは、マウンタの操作画面では低速 2 モードと表示されます。
注 4：TR5DNX，TR6DNV，TR6DXLX，TR7DN は、標準で 1 灯式のシグナルタワーが付きます。
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6-8 マルチダイサーバ
6-8-1 概要
本装置 DF01（マルチダイサーバ、以下本装置）は、小型化の進む Sip（System In Package）、MCM（Multi
Chip Module）などの部品/デバイス系の混載プロセスにおいて、ウェハまたはワッフルトレイからベアチップを実装機に
供給する装置です。フェイスアップまたはフェイスダウン（フリップ）供給、高速同時吸着を選択可能とすることで、多彩
な用途に対応しています。
※詳細は「DF01 機器仕様書」を参照ください。
6-8-2 基本仕様
型式
DF01
対応言語
日本語、英語
供給形態
ウェハ
/
ワッフルトレイ
ウェハ供給
グリップリング（
4 / 5 / 6 / 8
インチ用）
トレイ供給
ワッフルトレイ（
2 / 4
インチ）
部品サイズ
ダイレクト供給
□
0.3mm
～□
10.0mm
注１
シャトル供給
□
1.0mm
～□
10.0mm
許容厚さ
0.05mm
～
0.725mm
使用対象部品 ウェハ
ベアチップ
パッケージ部品
BGA
、
CSP
など（□
10mm
まで）
供給方式
・シャトルによるフェイスアップ供給
・シャトルによるフェイスダウン供給（フリップチップ）
パレット収納数
10
枚
グリップリング
1
枚
/
パレット
2
インチワッフルトレイ
8
枚
/
パレット（オプション）
4
インチワッフルトレイ
4
枚
/
パレット（オプション）
部品供給速度
2,400
CPH
供給精度
XY
±0.1mm
Θ
±5
°
注 1：□10.0mm～□25.0mm は別途対応致します。詳細は弊社営業員にお問い合わせください。
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6-8-3 設備仕様
項目 内容
供給電源
電圧 単相 AC 200V / 220V / 240V (±10%)
周波数 50/60 Hz
皮相電力 1.5 kVA
使用空気
空気圧 0.5±0.05 MPa ドライエア
最大空気消費量
150L/min (
標準状態
)
*
注
1
騒音 75 dB(A)以下 *注 2
クリーン度
クラス
10,000
以下
注 1： 標準状態：温度 20℃、絶対圧力 0.1MPa(=100kPa=1bar)、相対湿度 65％の空気の状態。
注 2： JIS Z 8731 に従い測定。
6-8-4 外形寸法
項目
搬送高さ
900mm
950mm
寸法
高さ
H
（シグナルライトあり）
1,955
2,005
高さ
H
（シグナルライトなし）
1,400
1,450
幅
W
696
奥行き
D
（機構部～ハンドル部）
1,160
カバーを開けたときの寸法
450
質量 約 340Kg
6-8-5 オプション
No.
名称
内容
1
ヒータ（工場出荷オプション）
突き上げユニットのヒータです。
2
グリップリング用パレット
4 / 5 / 6 / 8
インチ用をそれぞれ用意しています。
3
グリップリング
4 / 5 / 6 / 8
インチ用をそれぞれ用意しています。
*
注
1
4
ワッフルトレイ用パレット
2 / 4
インチ用をそれぞれ用意しています。
5
ニードル
ベアチップ突き上げ用。
6
コレット
ベアチップ吸着用。
大きさにあわせてそれぞれ用意しています。
7
スタッカ
追加用スタッカです。（パレットは別）
8
6
インチフラットリング用パレット
ウエハを直接取りつけるパレットです。
9
グリップリング張替え治具
ウエハをグリップリングに張りつける治具です。
10
ウエハアライメント治具
パレットにウエハを平行に取り付けるための治具です。
11
水準出し用治具パレット
装置の水準出し用パレットです。
注1：推奨メーカから購入の場合：株式会社 ウルトロニクス http://www.ultronics.co.jp/
メーカ型式 4インチ：GRP-2620-44 5インチ：GRP-2620-5
6インチ：UGR-6 8インチ：UGR-8