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保養手冊 預防保養手冊 HS 12 套管 (Sleeve) 保養 03/2003 版 92 12 套管 (Sleeve) 保養 12
預防保養手冊 HS 保養手冊
03/2003 版 11 年度保養工作
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檢查保護蓋 11
將保護蓋打開至 100 mm (+/-5 mm) 高度來測量機架與保護蓋邊緣的距離。如果減震管無法可靠
的將保護蓋保持在這個高度上，則更換新的減震管。
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○ 關閉保護蓋。
○ 在工作站電腦上選取 " 啟用介面 "。
○ 在生產線取置系統上的兩側，重複進行這些工作。
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您需要下列工具及耗材，來進行套管 (Sleeve) 的保養工作。 12
－ 實驗室級手套
－ 金屬鑽頭，1.1 mm
－ 金屬鑽頭，1.4 mm
－ 無棉絮清潔布
－ 無棉絮羊毛球
－乙醇
－ Unisilkon L250L ( 零件號碼：00310259-01)
－ O 形環 6x1 Viton 60 ( 若需要，零件號碼：00323535-02)。
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請不要空手握持套管 (Sleeve) 或吸嘴。在進行任何有關套管 (Sleeve) 的保養工作時，請穿戴實驗室
級手套。
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將套管 (Sleeve) 放在所提供的容器中。 12
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檢查交換環是否可以在套管 (Sleeve) 內靈活移動並回彈。
如果無法回彈，請將套管 (Sleeve) 寄回 SiemensDematic 進行修護。
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在您將鑽頭推入真空孔時，請確定應同時轉動鑽頭，否則您會將汙物進一步推入套管 (Sleeve) 中。
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將 1.4 mm 金屬鑽頭插入長真空孔中並順時針轉動，清除孔中的任何汙物。
轉動鑽頭可以將汙物從孔中清出。
將 1.1 mm 金屬鑽頭插入側向真空孔中並順時針轉動，清除孔中的任何汙物。
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