FX-1R_操作手册.pdf - 第215页
第 4 章 生产程序编辑 Rev03 按下 继续 键， 继续执行示教， 摄像机移动到标记的 XY 坐标， 显视器画面上显示出示教 对象 （需要记录的）的图像。 ※当显视器画面没有要示教的图像时，请确认输入的坐标是否正确。 ※若标记为陶瓷基板的标记（标记为白色）时，需再按一次“CAMERA”键。 按下 CAMERA 键，切换极性。 ③ 设定测量框 尺寸框可以用上下左右箭头键进行调整。（按动 FAST 键，可以加快调整尺寸框的移动速度） 可…
第 4 章 生产程序编辑 Rev03
4-5-2-3 标记的示教
为识别标记，提供信息示教。
要识别标记，需要有五种信息：标记的极性（黑白区分）、标记大小、标记形状、阈值（为
区分周围和标记光亮程度的判断基准值）、检查框大小。
4-5-2-3-1 基板标记的示教
＜步骤＞
① 将光标移动到示教对象的数据标记位置。
但需要预先输入标记的Ｘ，Ｙ坐标。
图 4.5.2.3 基板标记示教（１）
② 按下 HOD 的 CAMERA 键。
●如安全保护盖处于打开状态，显示如下画面。
图 4.5.2.4 确认画面
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第 4 章 生产程序编辑 Rev03
按下继续 键，继续执行示教，摄像机移动到标记的 XY 坐标，显视器画面上显示出示教对象
（需要记录的）的图像。
※当显视器画面没有要示教的图像时，请确认输入的坐标是否正确。
※若标记为陶瓷基板的标记（标记为白色）时，需再按一次“CAMERA”键。
按下 CAMERA 键，切换极性。
③ 设定测量框
尺寸框可以用上下左右箭头键进行调整。（按动 FAST 键，可以加快调整尺寸框的移动速度）
可在这里自动识别标记，并取得校正所必需的数据。
显
示摄像图像和长方形框
。
先设定标尺框的上边及左边。
上边及左边要对准记号。
调整完毕后按 ENTER 键。
以上述同样的方法设定下边及右边的尺寸框。
调整完毕后按 ENTER 键。
自动取得标记周围的滤波水平、并显示在显视屏上。
用 HOD 的↑ 键、↓ 键（XY 上下移动箭头键），调整到可以清楚地看到标记，避免周围噪音的干
扰。
调整完毕后按下 ENTER 。
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第 4 章 生产程序编辑 Rev03
如果标记识别不稳定时，请按设置照明条件按钮，设置照明类型。
设置照明类型，要在设定测量框左上边之前设置好。
图 4.5.2.5 设置照明类型
按下设置照明条件按钮后，出现如下画面。请设置照明类型。
图 4.5.2.6 设置照明类型
可以用＜应用＞按钮确认设定的光量画像。
照明类型 处 理
标准照明 用于识别通常的基板标记。
阻剂／保护胶片 用于标记上有阻剂／保护胶片等在标准照明时标记反射不
良，识别不稳定时。
用户定义
采用上述两种类型标记反射仍不好、识别不稳定时，可直
接调整垂直、角度照明光量，进行识别。
※用户定义的照明类型一般设定在 50～200 之间。50 以下有时光亮不稳定。
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