FX-1R_操作手册.pdf - 第216页
第 4 章 生产程序编辑 Rev03 如果标记识别不稳定时，请按设置照明条件按钮，设置 照明类型 。 设置照明类型，要在设定测量框左上边之前设置好。 图 4.5. 2.5 设置照明 类型 按下设置照明条件按钮后，出现如下画面。请设置照明类型。 图 4.5. 2.6 设置照明类型 可以用＜应用＞按钮确认设定的光量画像。 照明类型 处 理 标准照明 用于识别通常的基板标记。 阻剂／保护胶片 用于标记上有阻剂／保护胶片等在 标准照明时标记反…
第 4 章 生产程序编辑 Rev03
按下继续 键，继续执行示教，摄像机移动到标记的 XY 坐标，显视器画面上显示出示教对象
（需要记录的）的图像。
※当显视器画面没有要示教的图像时，请确认输入的坐标是否正确。
※若标记为陶瓷基板的标记（标记为白色）时，需再按一次“CAMERA”键。
按下 CAMERA 键，切换极性。
③ 设定测量框
尺寸框可以用上下左右箭头键进行调整。（按动 FAST 键，可以加快调整尺寸框的移动速度）
可在这里自动识别标记，并取得校正所必需的数据。
显
示摄像图像和长方形框
。
先设定标尺框的上边及左边。
上边及左边要对准记号。
调整完毕后按 ENTER 键。
以上述同样的方法设定下边及右边的尺寸框。
调整完毕后按 ENTER 键。
自动取得标记周围的滤波水平、并显示在显视屏上。
用 HOD 的↑ 键、↓ 键（XY 上下移动箭头键），调整到可以清楚地看到标记，避免周围噪音的干
扰。
调整完毕后按下 ENTER 。
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第 4 章 生产程序编辑 Rev03
如果标记识别不稳定时，请按设置照明条件按钮，设置照明类型。
设置照明类型，要在设定测量框左上边之前设置好。
图 4.5.2.5 设置照明类型
按下设置照明条件按钮后，出现如下画面。请设置照明类型。
图 4.5.2.6 设置照明类型
可以用＜应用＞按钮确认设定的光量画像。
照明类型 处 理
标准照明 用于识别通常的基板标记。
阻剂／保护胶片 用于标记上有阻剂／保护胶片等在标准照明时标记反射不
良，识别不稳定时。
用户定义
采用上述两种类型标记反射仍不好、识别不稳定时，可直
接调整垂直、角度照明光量，进行识别。
※用户定义的照明类型一般设定在 50～200 之间。50 以下有时光亮不稳定。
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第 4 章 生产程序编辑 Rev03
④选择标记形状
标记形状可自动判别。判定结果有误时，用 HOD 的↑键，↓键（ＸＹ上下移动箭头键）选
择正确的标记。
[＊]
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[ ]ＰＲ
⑤示教检查框
完成④的操作后，自动显示检查框窗口（默认窗口）。
设定窗口的大小，注意标记周围不要有光亮（或暗淡）物体。通常将窗口的直径大小，应设
定为比标记的直径要大 1mm～2mm 左右。
变更检查框，请参照③测量框的设定步骤进行。
设定检查框：
设定的方法与尺寸框相同。
调整完毕后按下 ENTER 。
键
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