FX-1R_操作手册.pdf - 第217页
第 4 章 生产程序编辑 Rev03 ④ 选择标记形状 标记形状可自动判别。判定结果有误时，用 HOD 的 ↑ 键， ↓ 键（ＸＹ上下移动箭头键）选 择正确的标记。 [＊] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] ＰＲ ⑤ 示教检查框 完成④的操作后，自动显示检查框窗口（默认窗口）。 设定窗口的大小，注意 标记周围不要有光亮（或暗淡）物 体。通常将窗口的直径大小， 应设 定…
第 4 章 生产程序编辑 Rev03
如果标记识别不稳定时，请按设置照明条件按钮，设置照明类型。
设置照明类型，要在设定测量框左上边之前设置好。
图 4.5.2.5 设置照明类型
按下设置照明条件按钮后，出现如下画面。请设置照明类型。
图 4.5.2.6 设置照明类型
可以用＜应用＞按钮确认设定的光量画像。
照明类型 处 理
标准照明 用于识别通常的基板标记。
阻剂／保护胶片 用于标记上有阻剂／保护胶片等在标准照明时标记反射不
良，识别不稳定时。
用户定义
采用上述两种类型标记反射仍不好、识别不稳定时，可直
接调整垂直、角度照明光量，进行识别。
※用户定义的照明类型一般设定在 50～200 之间。50 以下有时光亮不稳定。
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第 4 章 生产程序编辑 Rev03
④选择标记形状
标记形状可自动判别。判定结果有误时，用 HOD 的↑键，↓键（ＸＹ上下移动箭头键）选
择正确的标记。
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[ ]ＰＲ
⑤示教检查框
完成④的操作后，自动显示检查框窗口（默认窗口）。
设定窗口的大小，注意标记周围不要有光亮（或暗淡）物体。通常将窗口的直径大小，应设
定为比标记的直径要大 1mm～2mm 左右。
变更检查框，请参照③测量框的设定步骤进行。
设定检查框：
设定的方法与尺寸框相同。
调整完毕后按下 ENTER 。
键
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⑥示教结束后，出现下列询问：是否注册到标记数据库？
图 4.5.2.7 基板标记示教 （２）
把新建的示教数据注册到标记数据库里时，输入注册名后，再按「新建」按钮。
替换已注册的示教数据时，先输入替换名，再选择要替换的数据行，最后按下「覆盖」
按钮。
示教数据不注册到标记数据库里时，请按＜取消＞按钮。
至此，识别示教操作即告完成。
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