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DynaHead (DX) 9/ ダイナ ヘッド (DX ) 9/ 2UGKHL000566 No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks 番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番 号 個数 品名 規格 備考 1 H6009 1 2 VALVE, SOL バルブ ＳＯＬ VA01PS P23-1L-Z05 -047 2 H6639 5 1 VALVE, SOL バルブ ＳＯ…
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Neg press
(From V
acuum pump)
white
black
Manifold 1
(2MGKHL1296**)
R12,R4
Vacuum
Touch-down sensor
NOZZLE CLAMP
(UNCLAMP)
UNCLAMP check
Stepping motor
IPS UNIT
Body
Pos press
(500KPa)
yellow
yellow
blue
red
red
blue
Air blow
Nozzle cleaning
white
orange
orange
yellow-green
white
black
black
S1
Vacuum
Manifold 2
(2MGKHL1297**)
Center shaft
Multi-core Planar Tube
φ3.7~
Touch-down
R12 (A~L)
R4 (A~D)
NOZZLE NOZZLE NOZZLE NOZZLE
( )
4
2
13
12
23
1
7
19
1
5
8
9
3
8
9
6
10
18
5
11
17 17
15
16
20
16
16
16
15
15 15
21
C
DD
E
A
A
A
A
A
A
A
A
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B
B
B
22
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DynaHead (DX)ࠉ9/
2UGKHL000566
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PTS- NADXHD- 06
DynaHead (DX) 9/
ダイナヘッド (DX) 9/
2UGKHL000566
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 備考
1 H60091 2 VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
VA01PSP23-1L-Z05-047
2 H66395 1 VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
VQZ235R-5G1-Q
3 H67012 1 VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
S070B-5DG-X26-3
4 2MGKHL041400 1 VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
5 H65539 2 VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
S0715-5G
6 H65540 1 VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
S07A5-5G
7 2MGKHL171901 1 VALVE, ELEC/AIR PROPORTIONAL
バルブ デンクウヒレイ
8 2MGTHA087300 2 VALVE, PRESSURE REDUCING
バルブ 減圧
9 2MGKHL038800 2 SENSOR
センサ
10 S70649 1 CYLINDER, AIR
シリンダ エアー
CJ2B10-15Z
11 2MGKHL066905 1 CYLINDER, AIR
シリンダ エアー
12 S4033G 1 SENSOR, PRESSURE
センサ 圧力
PSE543-M5
13 S63512 1 SENSOR, PRESSURE
センサ 圧力
PSE541-M5
15 2AGKHL002303 12(4) SPOOL
スプール
16 XH00802 12(4) FILTER
フィルタ
17 H1041A 2 VALVE, THROTTLING
バルブ 絞り
ASN2-M5
18 2MGKHL122800 1 PLATE
プレート
19 S63104 1 SILENCER
サイレンサ
AN10-01
20 2MGKHL157200 1 FILTER
フィルタ
21 PZ55161 (1) FILTER
フィルタ
22 H65028 1 VALVE, CHECK
バルブ チェック
80-AKH04-00
23 H79397 1 VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
S070B-5DG-X225
A A4068H 9 ELBOW
エルボ
M-5ALU-4
B A40669 3 ELBOW
エルボ
M-3ALU-3
C A4068G 1 ELBOW
エルボ
M-5ALU-3
D S2160A 2 JOINT
ジョイント
M-5AU-6
E N2030T 1 NIPPLE
ニップル
M-5AU-4
F Y3044Z 1 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
LH-0425-M3
43
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DX
1
2
3
4
6
5
7
8
9
10
DX-HEAD CASE
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