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2 - 40 Tg 1299 -ID-PM 0602 - 001 2.4 “ 基板保持 ” タブ 2.4 “ 基板保持 ” タブ 基板を保持する方法などについて設定します。 • シートの表示 編集シートの [ 基板保持 ] タブを押すと、以下のタブシートが表示 されます。 [1] [2] [3] [4] [5] [6] [7] Fig.3B85 “ 基板保持 ” タブシート • シートの構成 [1] チャックステージ “ テンキー ” …
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0703-002
2.3 “ 印刷データ ” タブ
[7]
[10]
[11]
[13]
[8]
[9]
[14]
[15]
[12]
Fig.3B84 “ 印刷データ ” タブシート (2)
[7] スクリーンディスタンス
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
[8] 版離れモード
“テンキー”画面を表示させて、“基板降下”または“スキージ上昇”
を選択します。
[9]
版離れ速度
“
テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
[10] 版離れ加速度
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
[11] 版離れ距離
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
[12] 多段版離れ距離
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
[13] 印刷ずれ補正 ( 後進 )
“ テンキー ” 画面を表示させて、X（mm）、Y（mm）、
θ
（″）の数
値を入力します。
[14]
印刷ずれ補正
( 前進 )
“ テンキー ” 画面を表示させて、X（mm）、Y（mm）、
θ
（″）の数
値を入力します。
[15] スクリーンオフセット
“
テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
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2.4 “ 基板保持 ” タブ
2.4 “ 基板保持 ” タブ
基板を保持する方法などについて設定します。
•
シートの表示
編集シートの [
基板保持 ] タブを押すと、以下のタブシートが表示
されます。
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
Fig.3B85 “ 基板保持 ” タブシート
•
シートの構成
[1]
チャックステージ
“
テンキー ” 画面を表示させて、“ バックアップ治具 ”、“ バッ
クアップピン ”、“ 真空吸着 ” または “ 真空吸着 ( クランプ
無 )” を選択します。
[2] 基板上押さえ
“ テンキー ” 画面を表示させて、“ 使用しない ” または “ 使
用する ” を選択します。
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2.4 “ 基板保持 ” タブ
[3] 吸着解除方法
“テンキー”画面を表示させて、“印刷前”または“印刷後”を
選択します。
ノート
チャックステージ [1]で“真空吸着”および“ 真空吸着 (ク
ランプ無 )” を選択した場合にのみ変更できます。
[4] 吸着解除後待ち時間
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
ノート
チャックステージ [1] で “ 真空吸着 ” を選択した場合にのみ
変更できます。
[5] 基板クランプオフセット
タイミング ： “テンキー”画面を表示させて、タイミン
グ（秒）を入力します。
位置 ： “テンキー”画面を表示させて、タイミン
グ（秒）を入力します。
クランプ前上昇速度 ： 基板クランプする前に、バックアップテー
ブルが上昇する速度を“減速なし”～“90％
減速 ” の範囲で 10 段階に設定できます。
クランプ後上昇速度 ： 基板クランプした後に、バックアップテー
ブルが上昇する速度を“減速なし”～“90％
減速 ” の範囲で 10 段階に設定できます。
[6] 基板ストッパー Y 位置
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
[7] 基板切り欠きオフセット
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。