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2 - 41 Tg 1299 -ID-PM 0602 - 001 2.4 “ 基板保持 ” タブ [3] 吸着解除方法 “ テ ン キ ー ” 画 面 を表 示 さ せ て、 “ 印刷 前 ” また は “ 印刷 後 ” を 選択します。 ノート チャックステ ージ [ 1] で “ 真空吸着 ” および “ 真空吸着 ( ク ランプ無 )” を選択した場合にのみ変更できます。 [4] 吸着解除後待ち時間 “ テンキー ” 画面を表示さ…
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2.4 “ 基板保持 ” タブ
2.4 “ 基板保持 ” タブ
基板を保持する方法などについて設定します。
•
シートの表示
編集シートの [
基板保持 ] タブを押すと、以下のタブシートが表示
されます。
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
Fig.3B85 “ 基板保持 ” タブシート
•
シートの構成
[1]
チャックステージ
“
テンキー ” 画面を表示させて、“ バックアップ治具 ”、“ バッ
クアップピン ”、“ 真空吸着 ” または “ 真空吸着 ( クランプ
無 )” を選択します。
[2] 基板上押さえ
“ テンキー ” 画面を表示させて、“ 使用しない ” または “ 使
用する ” を選択します。
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2.4 “ 基板保持 ” タブ
[3] 吸着解除方法
“テンキー”画面を表示させて、“印刷前”または“印刷後”を
選択します。
ノート
チャックステージ [1]で“真空吸着”および“ 真空吸着 (ク
ランプ無 )” を選択した場合にのみ変更できます。
[4] 吸着解除後待ち時間
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
ノート
チャックステージ [1] で “ 真空吸着 ” を選択した場合にのみ
変更できます。
[5] 基板クランプオフセット
タイミング ： “テンキー”画面を表示させて、タイミン
グ（秒）を入力します。
位置 ： “テンキー”画面を表示させて、タイミン
グ（秒）を入力します。
クランプ前上昇速度 ： 基板クランプする前に、バックアップテー
ブルが上昇する速度を“減速なし”～“90％
減速 ” の範囲で 10 段階に設定できます。
クランプ後上昇速度 ： 基板クランプした後に、バックアップテー
ブルが上昇する速度を“減速なし”～“90％
減速 ” の範囲で 10 段階に設定できます。
[6] 基板ストッパー Y 位置
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
[7] 基板切り欠きオフセット
“ テンキー ” 画面を表示させて、数値を入力します。
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2.5 “ 基板認識 ” タブ
2.5 “ 基板認識 ” タブ
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シートの表示
編集シートの [
基板認識 ] タブを押すと、以下のタブシートが表示
されます。
[1]
[2]
[3]
Fig.3B86 “ 基板認識 ” タブシート 1
•
シートの構成
[1]
センター認識
“
テンキー ” 画面を表示させて、“ 使用しない ” または “ 使
用する ” を選択します。
[2] 基板認識 1 点目
“ テンキー ” 画面を表示させて、X（横）、Y（縦）、認識方式、コー
ド、ゲイン（自動ゲイン調整を使用しない場合のみ）、レベル（自
動ゲイン調整を使用しない場合のみ）の数値を入力します。
[3]
基板認識
2 点目
“ テンキー ” 画面を表示させて、X（横）、Y（縦）、認識方式、コー
ド、ゲイン（自動ゲイン調整を使用しない場合のみ）、レベル（自
動ゲイン調整を使用しない場合のみ）の数値を入力します。