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4-29 Tg1299-ID-PM 0602-001 4.2 “ 基板認識カメラ ” タブ 4.2 “ 基板認識カメラ ” タブ 基板認識カメラのオフセット量、倍率、および基板認識マークの明 るさ、濃淡差を設定します。 • シートの表示 “ オフセットデータ ” サブメニューバーの [ 基板認識カメラ ] タブ を押すと、以下のタブシートが表示されます。 [1] [2] [3] [4] Fig.3D30 “ 基板認識カメラ ” タブシー…

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Tg1299-ID-PM
[4] コンベア接続 X( )
L/Rコンベアとテーブルシュートの接続部の X 方向の隙間寸法を、
設定値に対して変更する寸法を入力します。
測定値が規格値 (4.0 ~ 5.0 mm) 内であればオフセットの入力
は不要です。
L コンベア側 L コンベアとテーブルシュートの接続部の X
方向の隙間寸法について、設定値 (4.0
 
mm)
に対してオフセットする量を入力します。
4 ~ 5
テーブル
Lコンベア
Fig.3D28
R コンベア側 R コンベアとテーブルシュートの接続部の X
方向の隙間寸法について、設定値 (4.0
 
mm)
に対してオフセットする量入力します。
4 ~ 5
Rコンベア
テーブル
Fig.3D29
ノート
テンキー 画面を表示して、オフセット量を入力します。
4.1 “ 装置オフセット タブ
0607-002
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Tg1299-ID-PM
0602-001
4.2 “ 基板認識カメラ タブ
4.2 基板認識カメラ タブ
基板認識カメラのオフセット量、倍率、および基板認識マークの明
るさ、濃淡差を設定します。
シートの表示
オフセットデータ
サブメニューバーの [ 基板認識カメラ ] タブ
を押すと、以下のタブシートが表示されます。
[1]
[2]
[3]
[4]
Fig.3D30 “ 基板認識カメラ タブシート
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Tg1299-ID-PM
0607-002
4.2 “ 基板認識カメラ タブ
シートの構成
[1] 基板認識カメラオフセット
基板認識カメラの中心位置とテーブルシュートの中心位置の各
軸の距離と角度差について、設定値に対して変更する値を入力
します。
基板認識カメラ
基板原点
基板
テーブル原点
テーブルセンタ
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Fig.3D31
ノート
テンキー 画面を表示して、オフセット量を入力します。
[2] 基板認識カメラ倍率
基板認識カメラの倍率を設定します。
ノート
テンキー 画面を表示して、X および Y 方向で1ピクセル当り
の距離(単位:
µ
m)を入力します。
[3] 基板認識マーク
基板認識マークの明るさと濃淡差(コントラスト)を設定します。
ノート
画面を表示しベル値を
入力します。
ゲイン ントラストを変えす。大きくすると
ントラストが大きくなります。
レベル るさを変える増幅す。すると画面が
るくなります。
[4] 自動ゲインレベルモード
自動ゲインレベル調整のモードを設定します。
コントラスト重視では、コントラストがはっきりした画像を得
ることを重視したゲインでレベルを求めます。