3OM-1321-005_w - 第76页
2 - 9 Tg 1299 -ID-PM 0602 - 001 1.2 オペレーションデータ 1.2.4 基板認識 (1) センター認識 センター認識を行うかどうかを選択します。 使用する : センター認識を行います。 使用しない : センター認識を行いません。 セ ン タ ー 認 識 を使 用す ると、 マー ク 認 識 後、 認 識 マー クが 視野 のセンターになるようにカメラを移動した後で再度認識します。 レ ン ズ の 歪 の…
2-8
Tg1299-ID-PM
1.2 オペレーションデータ
0602-001
（5) 基板クランプオフセット
バッ
クアップテーブルは、基板をチャックする位置まで上昇し、
メカクランプ横押えが基板をチャックした後、再び上昇します。
薄い基板などでチャックミスが発生するような場合、基板を
チャックしてバックアップテーブルが再び上昇するタイミング、
およびメカクランプ横押えがチャックを開始する位置を入力し
ます。
タイミング ：
停止から再上昇までの停止時間を入力し
ます。
単位：秒
位置 ：
現在の位置から変更する寸法を入力しま
す。
単位：mm
“ - ”（マイナス）を入力するとチャッ
クを開始する高さを変更できます。
クランプ前上昇速度 ： 基板をクランプする前にバックアップ
テー
ブルが上昇する速度を、減速なし～
90％減速の範囲で 10 段階に設定できま
す。
単位：％
クランプ後上昇速度 ： 基板をクランプした後にバックアップ
テー
ブルが上昇する速度を、減速なし～
90％減速の範囲で 10 段階に設定できま
す。
単位：％
(6) 基板ストッパー Y 位置
テーブルシュート部で基板を止めるストッパの Y 方向オフセッ
トを設定します。
単位：mm
オフ
セットが “0” の場合、基板ストッパの位置は基板端面の
中心になります。
基板端面の中心に切り欠きなどがある基板に指定します。
(7) 基板切り欠きオフセット
基板端面に切り欠きがある場合で、その位置に、基板ストッパ
を当てて位置決めしたい場合は、切り欠きの深さを入力します。
単位：mm
基板ｽﾄｯﾊﾟｰ Y 位置
+000
Fig.3B28
基板切り欠きｵﾌｾｯﾄ
000
Fig.3B29
Fig.3B27
0.00
+0.0
減速なし
減速なし
クランプ前
上昇速度
クランプ後
上昇速度
タイミング
位置
2-9
Tg1299-ID-PM
0602-001
1.2 オペレーションデータ
1.2.4 基板認識
(1) センター認識
センター認識を行うかどうかを選択します。
使用する : センター認識を行います。
使用しない : センター認識を行いません。
セン
ター認識を使用すると、マーク認識後、認識マークが視野
のセンターになるようにカメラを移動した後で再度認識します。
レン
ズの歪の少ないセンターで認識するため、位置精度が良く
なります。
(2) 基板認識 1 点目
X（横）、Y（縦）
1 点目の認識マークの座標を設定します。
単位：mm
認識方式
マーク : 指定したコードのマークを認識します。
モデル : あらかじめ登録したモデルを認識します。
モデル
+
マーク : モデル認識後に、中心部のマークを認識しま
す。
コード
1 点目の認識マークのコード番号を設定します。
自動ゲイン調整
カメラの自動ゲイン調整を使用するかどうかを設定します。
(3) 基板認識
2 点目
X（横）、Y（縦）
2 点目の認識マークの座標を設定します。
単位：mm
認識方式
マーク : 指定したコードのマークを認識します。
モデル : あらかじめ登録したモデルを認識します。
モデル
+
マーク : モデル認識後に、中心部のマークを認識しま
す。
コード
2 点目の認識マークのコード番号を設定します。
自動ゲイン調整
カメラの自動ゲイン調整を使用するかどうかを設定します。
センター認識
使用しない
Fig.3B30
X（横）
Y（縦）
10.000
10.000
ｺｰﾄﾞ
02
Fig.3B31
X（横）
Y（縦）
290.000
190.000
ｺｰﾄﾞ
03
Fig.3B32
2-10
Tg1299-ID-PM
0602-001
1.2 オペレーションデータ
（4) 最重要点指定
基板とスクリーンの面合せ補正時の、最重要点（基板とスクリー
ン枠の位置ずれ補正における中心点）を指定するか、指定しな
いかを選択します。
指定する ： (5) で設定したデータが最重要点になります。
指定しない ： 2 つの認識マークを結ぶ直線の中点の座標が最重
要点として設定されます。
(5) 最重要点座標
X(
横 )、Y( 縦 )
基板とスクリーンの面合せ補正時の、最重要点の座標を設定し
ます。
単位：mm
この
データは “ 最重要点指定 ” が “ 指定する ” のときのみ
有効です。
最重要点指定
指定しない
Fig.3B33
000.00
000.00
X（横）
Y（縦）
Fig.3B34