JX-300LED_操作手册.pdf - 第44页
操作手册 ○ 密封 圈 的更换 1 ）取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个） 内六角螺栓 (M5×20) 。 3 ） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓 (M5×20) 用 5.0N ・ m 对角拧紧。 ※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。 ○ 更换 O 环 S- 67 1 ） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。 2 ） 将碗形密封气缸上部的 O 环 S- 67 ，换上新的 O…
操作手册
1）请根据设备正面的负压表，确认真空泵运转时的真空压。
* 应没有进行真空运作。
2）如果真空表的数值低于-80kPa（绿色区域），
请按「过滤器及叶片的更换」、或「真空泵部件的检查·更换」，
检检·更检消耗部件。
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表> 更换部件组件的件号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。
3) 拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线束(电源、地线)②、
把固定③VAC_PUMP_PLATE 的
④束 (M4×8)拆下来。
4)把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线束。
检查项目
3-2-11 真空泵（选购项）
实施频度 ：参见下面
检查内容 检查压力
检查·更换 真空泵部件的检查·更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换频度 ：9 个月
②
③
④
真空泵
①
3-12
操作手册
○
密封圈的更换
1）取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）
内六角螺栓(M5×20)。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
○
更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
2） 将碗形密封气缸上部的 O 环 S-67，换上新的 O 环。
3） 请将固定泵头护罩用的 M5×20，以 5.0N・m 对角拧紧。
○ 更换 O 环 P-10
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
2） 在连接泵头护罩之间的连接管上，每 1 根上装有 2 个 0 环。
请更换涂抹有真空润滑油的新配件。
3） 请将固定泵头护罩用的 M5×20，以 5.0N・m 对角拧紧
※安装连接泵头护罩之间的连接管时，请确认 0 环上涂抹了真空润滑油，
请注意插入连接管时不要造成 O 环划伤。
泵头护罩
密封圈
内六角螺栓
泵头盘
2）取下泵头护罩内测的黑色密封圈，
共 2 个，更换上新的密封圈。
3-13
操作手册
○
更换碗形密封垫圈、防止吸气阀碰触胶垫
1） 取下 3 个（共 6 个）平头小螺丝(M4×8)，取下固定器、防止吸气阀碰触胶垫、碗形密封垫圈。
※请将气缸与固定器的垃圾去除干净。
2） 清扫之后的气缸设置在支柱上，将新碗形密封垫圈的中心与连杆安装碗形密封垫圈位置的中心
对齐，用手将气缸推入。
3） 把安装了新的防吸气阀碰触胶垫的固定器，放置在碗形密封垫圈之上，
使用涂抹了液状垫圈（NK-4）的 (M4×8)，以 3.0N・m 拧紧安装。
平头小螺钉
固定器
防止吸气阀
碰触胶垫
碗形密封垫
（
*80S）
连杆
※ 请注意碗形密封垫圈的方向。
3-14