FX-1 使用说明书.pdf - 第389页
第 6 章 编辑辅 助功能 把吸取高度跟踪的条件设定为[读取 检测值]时会显示对话框，询问[是否把测量结 果反映到吸取数据]？。 要反映时，请按[是]键。 图 6.5-61 吸取高度跟踪：读取测量结果的确认对话框 若把吸取高度跟踪的条件设定 为[确认摄像机位置]（用摄像机确认位置） ，则可在 VCS 监视器器中显示吸取位置。 显示下列对话框后，请阅读、确认。 如果跟踪位置正确无误，请按[是] 键。 需要修正示教吸取位置时，按[否] 键，…
第 6 章 编辑辅助功能
跟踪吸取坐标的示教操作流程，概括如下。
吸着座標
Ｘ
に
ＹＺｴﾃﾞｨｯﾄﾎﾞｯｸｽ
入力ﾌｫｰｶｽ
ＨＯＤ
デバイスキー押下
ENTER
CANCEL
ティーチング操作
[設定」ﾎﾞﾀﾝまたは
ENTERを押す
吸着データ変更
[取消]ﾎﾞﾀﾝまたは
CANCELを押す
吸取坐标
焦点在 XYZ 的
编辑框里
HOD
按下设备键
座標確定後
操作示教
坐标确定后
按[设定]按钮或
ENTER 键
变更吸取数据
按
CANCEL 键
[取消]按钮或
图 6.5-58 跟踪吸取示教操作的流程
(7) 吸取高度跟踪时在各点的运行状况
把吸取高度跟踪的条件设定为[与测量数值有差分时停止]时，与检测值有差距时，会
显示下列对话框。
自动跟踪时会停止，请确认吸取数据的高度值。
图 6.5-59 吸取高度跟踪：差距通知对话框
把吸取高度跟踪的条件设定为[不能检测时停止]，当 HMS 不能测量时，会显示如下对
话框。
自动跟踪时会停止，请确认吸取数据的高度值。
图 6.5-60 吸取高度跟踪：HMS 不能进行测量时的对话
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第 6 章 编辑辅助功能
把吸取高度跟踪的条件设定为[读取检测值]时会显示对话框，询问[是否把测量结
果反映到吸取数据]？。
要反映时，请按[是]键。
图 6.5-61 吸取高度跟踪：读取测量结果的确认对话框
若把吸取高度跟踪的条件设定为[确认摄像机位置]（用摄像机确认位置），则可在
VCS 监视器器中显示吸取位置。
显示下列对话框后，请阅读、确认。
如果跟踪位置正确无误，请按[是] 键。
需要修正示教吸取位置时，按[否] 键，进行(6)项的示教操作。
图 6.5-62 吸取高度跟踪：吸取位置确认对话框
（8）跟踪中的自动示教
跟踪暂停时，可以执行自动示教。
自动示教会出现以下 5 个错误/询问。
① 尺寸差异很大时
空洞指的是所安装的元件的坑凹处。与元件尺寸相比，空洞尺寸明显异常时，会显示
下列提示。
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第 6 章 编辑辅助功能
图 6.5-63 自动示教错误：空洞异常
② 浓度异常时
空洞的影子浓度异常时显示下列提示信息。
图 6.5-64 自动示教错误：外周浓度异常
③ 中心偏移时
设定的吸取数据与通过自动示教校正过的吸取数据存在很大偏移时，显示下列提示信
息。
图 6.5-65 自动示教错误：中心偏移
④ 空洞边界检查失败时
当不能检测出空洞影子的矩形框时，显示下列提示信息。
图 6.5-66 自动示教错误：边界检查异常
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