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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-03O-0 2 3-2-12 -2 3 エラーとなった基板を設備から 抜き取る 4 抜き取り確認のあと + ( 生産が開始される ) 5 基板位置エラーが発生したあと ■トレイフィーダー仕様のとき 作業台 ( お客様準備品 ) を用いて基板を 抜き取ってください。 ■交換台車仕様のとき 交換台車を取り外し、基板を抜き 取ってください。 ( → 『メンテナンス 編』 P.3-2) 5
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3-2-12-1
基板反り検出エラーの対応方について説明します。
生産情報
基板反り検出エラー １
1
操作編
3-2-12
●エラーの種類は次の通り5つあります。
A:基板反り範囲オーバー、B:基板反り想定範囲異常、C:基板反り結果勾配異常、D:基板反り計測エラー、
E:基板反り補正不可
●基板反り検出エラーが発生したとき、エラーの種類に合わせて以下の4つの方法にて操作してください。
①基板反り形状再計測
メインメニューに戻り 再度生産スタート
②エラー基板抜き取り
以下のフローを実施
+
2
(ホーム画面に戻る)
操作方法 エラーの種類
① 基板反り形状再計測
A、B、C
② エラー基板抜き取り
A、B、C
③ 基板反り勾配許容値変更
C
④ 基板反り計測ティーチ
A、B、C、D、E
2
1
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3
エラーとなった基板を設備から
抜き取る
4
抜き取り確認のあと
+
(生産が開始される)
5
基板位置エラーが発生したあと
■トレイフィーダー仕様のとき
作業台(お客様準備品)を用いて基板を
抜き取ってください。
■交換台車仕様のとき
交換台車を取り外し、基板を抜き
取ってください。(→『メンテナンス
編』P.3-2)
5
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生産情報
基板反り検出エラー ２
6
操作編
3-2-12
(エラー発生位置の基板情報が削除される)
7
(生産準備動作画面に戻る)
8
8
+
(生産が開始される)
●基板抜き取り作業は終了です。
6
7