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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-04 O-03 4-2-3 -3 生産 データ ティーチ ング 基板反り計測点ティーチ ２ （オプション） 操作編 4-2-3 2 + メッセージを確認して 3 1 2 ( 反りモードがパターンのときのみ 選択可能。 ) ●パターン番号を設定 4 3 ( 基板搬入のメッセージを確認し基板 をセット。 ) 5 5 ( 基板反り測定点データが表示。 ) + ■操作しないとき 1 レーンの選択 ( の画面…
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-04O-03
4-2-3-2
ティーチングの流れ
基板反り計測点データの入力
ティーチングの開始
計測点データの選択
位置の調整
計測テスト
データセーブ
ティーチングの完了
NPM-DGSで作成
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-04O-03
4-2-3-3
生産
データ
ティーチ
ング
基板反り計測点ティーチ ２
（オプション）
操作編
4-2-3
2
+
メッセージを確認して
3
1
2
(反りモードがパターンのときのみ
選択可能。)
●パターン番号を設定
4
3
(基板搬入のメッセージを確認し基板
をセット。)
5
5
(基板反り測定点データが表示。)
+
■操作しないとき
1
レーンの選択
( の画面のまま)
1
(基板が搬入され、認識マークの認識を実
施。)
(デュアルレーンのとき。)
ティーチング手順 1
■1点毎に計測し計測点を変更したいとき
へ
3
■全点の計測を行い結果をみたいとき
へ
11
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-04O-03
4-2-3-4
+
6
6
計測したい座標Noを選択
7
(計測する座標にヘッドカメラが移動
し、計測点の状態を視覚的に確認す
ることができる。)
7
●画面に表示される画像の中心が計測
位置
●目視確認にて、計測点が基板表面の
条件に適合した面であることを確認