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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-06O-0 5 6-1-8 -1 外観 対象基板 *1 ） 基板寸法 PC サイズ 300 mm 搬送仕様 デュアルレーンモード ● Min: L 50 × W 50 mm ● Max: L 510 × W 300 mm シングルレーンモード ● Min: L 50 × W 50 mm ● Max: L 510 × W 590 mm 基板寸法 M サイズ 260 mm 搬送仕様 デュアルレーンモード…
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-06O-05
6-1-7-2
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-06O-05
6-1-8-1
外観
対象基板
*1）
基板寸法
PCサイズ
300 mm
搬送仕様
デュアルレーンモード
●Min: L 50 × W 50 mm ●Max: L 510 × W 300 mm
シングルレーンモード
●Min: L 50 × W 50 mm ●Max: L 510 × W 590 mm
基板寸法
Mサイズ
260 mm
搬送仕様
デュアルレーンモード
●Min: L 50 × W 50 mm ●Max: L 510 × W 260 mm
シングルレーンモード
●Min: L 50 × W 50 mm ●Max: L 510 × W 510 mm
基板厚み
1.6 ～ 8.0 mm
基板材質 ガラエポ
測定面材質
銅箔＋レジスト面、銅箔面、シルク面で1.5 × 1.5 mm以上のエリアがあ
ること。
透明、半透明な箇所は対象外。(ガラエポ素材面など)
基板反り量
上反り2 mm以下、下反り2mm以下、かつ反り勾配が0.5 %以下、稜
線(搬送方向)の高低差が1 mm以下。
機能
基板反り許
容値検出
測定結果が許容値を超えるときは、装着開始前に警告を出す。許容反り
勾配(%)も確認する。
高さ
コントロー
ル
基板全体の高さ(反り)を測定し、装着高さをコントロールする。
測定データ
受け渡し
ライン先頭のNPM-TT2で測定したデータを下流の設備に受け渡す。
下流の設備は、NPM-TT2が対象。NPM-TT2以外の設備には、データを
送ることができない。
基板クランプする毎に反り形状が変化するような基板については、別途
ご相談ください。
仕様
高さセンサー
操作編
6-1-8
基板全体の高さ(反り)を測定し、装着時のノズル高さをコントロールします。
測定結果が許容値を超える場合は、装着開始前に警告を出し、品質不良の発生を未然に防止します。
A
B
B
A
稜線
搬送方向 搬送方向
1mm以下
稜線
高さセンサー
高さセンサー
*2）
NPM-D3 NPM-TT2
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-06O-05
6-1-8-2
*1) 高さセンサーによる基板反り補正にて補正可能な反りは、断面形状がU字型の単純な曲面が対象です。
反りが複雑なときは、パターン反り補正を用いることで単純な曲面の組み合わせとして補正することが
できます。
スリット(切り欠き)がある基板、薄い基板は反り形状が複雑になる傾向がありますので、パターン反り補
正を推奨します。(→■パターン反り補正)
*2) 高さセンサーは、先頭のNPM-TT2に選択してください。
シングルレーンモードで生産を行う場合は前側のみ、デュアルレーンモードで生産を行う場合は前側・
後側両方に選択してください。
*3) 測定点の最大設定数(設定総数)については、｢6-1-1 設備仕様のプログラムデータ｣を参照ください。
測定条件
測定高さ
基板上面 ±4 mm (測定可能な範囲。基板反り許容範囲ではない)
測定エリア
基板端、切り欠きから5 mmのエリア。
測定点
*3)
全体反り補正 : 9 点以上 (最大25 点/枚)
パターン反り補正: 9 点/パターン以上 (最大25 点/パターン)
測定時間
3.0 s (510 × 590 mm 基板で9点測定のときの最適条件値)
■パターン反り補正
パターン毎の測定点で反り補正を行うことをパターン反り補正といいます。(下図参照)
スリット(切り欠き)がある基板は、反り形状が複雑になり、なめらかな(一様な)曲面にならない傾向があり
ます。このような基板の場合は、パターン反り補正を推奨します。
スリット
パターン1 パターン2 パターン3
パターン4 パターン5 パターン6
測定箇所
A
A
上反り
下反り
A – A断面
●補正不可能な反り形状
例) うねりのある基板