DECAN_S2_Maintenance(Kor_Ver4.3).pdf - 第56页
주간 점검 제 4 장 Advanced Chip Shooter DE CAN S2 Mai nte nan ce Ha ndb oo k 4-3 Solenoid V alve 점검 조치 Step 1. AN C에 CN04 0 Nozzle을 삽입 Step 2. 장비를 작동시 켜 AN C의 CN04 0 Nozzle을 He ad에 장착 Step 3. MM I의 ' Diagn osis'메 뉴를 …
주간 점검
제 4 장
Advanced Chip Shooter
DECAN S2 Maintenance Handbook
4-2
Head Mirror 청소
주간 점검
유지보수 도구
공기분사기, 알코올, 면봉, 렌치
조치
Step 1.
""4. Front X Frame의 전면이동" (1-3페이지) 와 ""7. Rear X
Frame 후면이동" (1-7페이지)를 참조하여 각각의 X Frame을
양쪽 끝으로 이동
Step 2.
OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',
'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.
자세한 사항은 ""2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조
Step 3.
공기분사기를 이용하여 Mirror의 먼지를 청소
Step 4.
이물질이 완전히 제거되지 않았다면 깨끗한 천에 알코올을 소량
묻혀서 닦기
주 의
강한힘을 가하여 닦거나 오염된 천으로 닦을경우, Mirror 표면의 코
팅이 손상 될 수 있음, 손상 시 C/S회사(STS) 또는 현지 대리점(Local
agent)으로 문의
Step 5.
""3. 비상정지 해제하기" (1-10페이지)를 참조하여 비상정지
해제하여 작업을 재진행
Head Mirror 청소
(소요시간 : 5분 / No. W-2)
주간 점검
제 4 장
Advanced Chip Shooter
DECAN S2 Maintenance Handbook
4-3
Solenoid Valve 점검
조치
Step 1.
ANC에 CN040 Nozzle을 삽입
Step 2.
장비를 작동시켜 ANC의 CN040 Nozzle을 Head에 장착
Step 3.
MMI의 'Diagnosis'메뉴를 선택하고, 'Vacuum'하위메뉴 선택
2
1
Step 4.
<Valve Check> 버튼을 클릭하고,'Valve Check'대화상자의
<Try> 콤보박스에서 Vacuum ON/OFF 횟수를 선택한 후
<Test> 버튼 클릭
3
5
4
Solenoid Valve 점검
(소요시간 : 20분 / No. W-3)
주간 점검
제 4 장
Advanced Chip Shooter
DECAN S2 Maintenance Handbook
4-4
Solenoid Valve 점검
주간 점검
Step 5.
점검 결과 이상시 STS 또는 Local Agent로 연락하여 해당
Solenoid Valve를 교체
Solenoid Valve 점검 및 이상유무 확인과 관련된 자세한 사항은
Administrator's Guide의 "15.4 Vacuum'을 참조하십시오.
주 의
Vacuum Filter는 주간단위로 점검하시고 최대 6개월내 교환을 해야만
부품의 Pickup(흡착)을 위한 Vacuum이 정상적으로 형성됩니다.
솔레노이드 밸브는 소모품으로써 안정적인 작업을 위해서는 2년 주기
로 솔레노이드 밸브를 교환하는 것을 권장합니다.