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월간 점검 제 5 장 Advanced Chip Shooter DE CAN S2 Mai nte nan ce Ha ndb oo k 5-6 우측 Cover Cooling F an 점검 및 청소 월간 점검 우측 Cover Cooling F an 점검 및 청소 유 지보 수 도 구 진공청소기, 십자형(+)드라이버 조치 Step 1. "" 1. 전원 차단 절차" (1- 1페이 …

월간 점검
제 5 장
Advanced Chip Shooter
DECAN S2 Maintenance Handbook
5-5
Conveyor Sensor/ Fiducial Mark 점검 및 청소
Option (Conveyor 2-2-1)
Fiducial Mark
Option (Conveyor single)
Fiducial Mark

월간 점검
제 5 장
Advanced Chip Shooter
DECAN S2 Maintenance Handbook
5-6
우측 Cover Cooling Fan 점검 및 청소
월간 점검
우측 Cover Cooling Fan 점검 및 청소
유지보수 도구
진공청소기, 십자형(+)드라이버
조치
Step 1.
""1. 전원 차단 절차" (1-1페이지)를 참조하여, 장비의 전원을
OFF
Step 2.
Cooling Fan의 소음 및 동작 상태에 문제가 발생하면, 십자형(+)
드라이버을 이용하여 Fan Filter 및 Fan 분리
옆 장비와 라인으로 구성되어있어 FAN을 분리할 공간이 충분하지 않다
면 Filter와 FAN을 분리하지 않은 상태로 에어건을 이용하여 청소
Step 3.
진공청소기를 이용하여 Cooling Fan 및 Filter를 청소
Step 4.
청소 후 Main Swich를 ON하여, Cooling Fan의 소음 및 동작
상태를 점검
이상 소음 및 동작 이상을 보인다면 다시 장비의 Main Switch를 OFF하
고 Cooling Fan을 교환
주 의
장비의 Main Switch를 ON시 Cooling Fan이 작동하므로 손에 상해를
입을 수 있으며, Cable등을 잘못 만지면 감전의 위험이 있으므로 각별
히 주의하여 작업
주 의
Cooling Fan의 교환 작업은 위험을 수반하므로 당사 C/S회사(STS) 또
는 현지 대리점(Local Agent)으로 문의하여 조치
(소요시간 : 10분 / No. M-3)

월간 점검
제 5 장
Advanced Chip Shooter
DECAN S2 Maintenance Handbook
5-7
전, 후 Cover의 Cooling Fan 점검 및 청소
전, 후 Cover의 Cooling Fan 점검 및 청소
유지보수 도구
진공청소기, 십자형(+)드라이버
조치
Step 1.
""1. 전원 차단 절차" (1-1페이지)를 참조하여, 장비의 전원을
OFF
Step 2.
Cooling Fan의 소음 및 동작 상태에 문제가 발생하면, 십자형(+)
드라이버을 이용하여 Fan Filter 및 Fan 분리
Step 3.
진공청소기를 이용하여 Cooling Fan 및 Filter를 청소
Step 4.
청소 후 Main Swich를 ON하여, Cooling Fan의 소음 및 동작
상태를 점검
이상 소음 및 동작 이상을 보인다면 다시 장비의 Main Switch를 OFF하
고 Cooling Fan을 교환
주 의
장비의 Main Switch를 ON시 Cooling Fan이 작동하므로 손에 상해를
입을 수 있으며, Cable등을 잘못 만지면 감전의 위험이 있으므로 각별
히 주의하여 작업
주 의
Cooling Fan의 교환 작업은 위험을 수반하므로 당사 C/S회사(STS) 또
는 현지 대리점(Local Agent)으로 문의하여 조치
(소요시간 : 15분 / No. M-4)