HM_Series_Administrator′s_Guide(Chi_Ver2.5)校正 - 第403页
12-35 校正 12.1.7. 悬臂热补偿 该校正利用基准标记对设备运转 后摩擦热所引起的 XY 坐标系的热变形进行补偿。 图 12.8 “ 热量补偿 ” 对话框 1: Grid 悬臂选择用箭头键 1F: 显示目前选择的悬臂。 单击箭头键选择需要设定的悬臂。 < 移动 > 按钮 让该悬臂的基准相机移动到 Grid 领域中选择的基准 标记位置。 < 得到数据 > 按钮 在选定的基准标志的位置适用当前 …
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12.1.6. X-XY轴修正
为了补偿X轴移动时发生的XY 误差而执行。如果Thermal Mapping及 Gantry
Mapping 已被激活时，为了执行X-XY Compensation强制性的让Mapping 处于非激活
(Disable)状态。
注 意 X-XY Compensation在设备出厂之前在工厂执行。为了执行此
过程必须需要专用校正 Tool。
一般情况下此过程为进行Skip后，请执行后续过程的校正。
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校正
12.1.7. 悬臂热补偿
该校正利用基准标记对设备运转后摩擦热所引起的XY坐标系的热变形进行补偿。
图
12.8 “
热量补偿
”
对话框
1: Grid
悬臂选择用箭头键
1F:显示目前选择的悬臂。
单击箭头键选择需要设定的悬臂。
<移动> 按钮
让该悬臂的基准相机移动到 Grid 领域中选择的基准标记位置。
<得到数据> 按钮
在选定的基准标志的位置适用当前位置的坐标值。
<能打开热量图> 选择框
决定是否实行悬臂热补偿，校准用传送带上的基准标记全部示教完毕后，将自
动显示成圈选状态。
如果需要让悬臂热补偿变成非激活状态，则解除复选框的圈选状态。
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<校正时间模式>领域
可以设定实行映射的周期。
自动
根据事先指定的周期自动实行映射。
手动
在右侧编辑框输入周期，每到该周期就手动实行映射。
<自动下一步> 复选框
圈选该复选框后单击<开始> 键，就会自动实行悬臂热补偿。
<手动> 复选框
利用示教框把各悬臂移动到指定位置后，手动实行悬臂热补偿。
悬臂热补偿校准的实行方法如下。
1. 在Gantry 选择箭头按钮中选择‘1F’。