RL131維修手冊 - 第109页
RL131 维修手册 5.2 搬送导轨 DA8MCC-Y3-000- A0 5.2-2
RL131
维修手册
5.2 搬送导轨
DA8MCC-Y3-000-A0
5.2-1
5.2. 搬送导轨
DA8MCC-Y3-000-A0
5.2.1 搬送导轨
装置编号：
N610061299AA
编号
名称 型号
1.
基板存在检测
P919T
2.
基板存在检测
P919T
3.
轨道上下气缸返回检测
D-C73
4.
轨道上下气缸前进检测
D-C73
1.
2.
3.
4.
RL131
维修手册
5.2 搬送导轨
DA8MCC-Y3-000-A0
5.2-2
RL131
维修手册
5.3 作业部搬送方面
DA8MCC-Y3-200-A0
5.3-1
5.3. 作业部搬送方面
DA8MCC-Y3-200-A0
5.3.1 基板搬送部
装置编号：
N610060945AA
编号
名称 型号
1.
搬送臂向前检测
P914S1
2.
搬送臂向前减速检测
P914S1
3.
搬送臂返回检测
P914S1
4.
定位气缸返回检测
D-A73
5.
定位气缸前进检测
D-A73
1.
3.
2.
4.
5.