RL131維修手冊 - 第138页
RL131 维修手册 7.3 基板搬送部 DA8MCC-Z4-00 0-A0 7.3-1 7.3. 基板搬送部 DA8MCC-Z4-000-A0 7.3.1 X-Y 工作台 装置编号 N610074520AA 加油 周期 No. 项目 作业 加油量 详细内容 1. 滚珠丝杠 (X) 每月 2. 滚珠丝杠 (Y) 每个 3 cm 3 位置 : 螺纹 3. LM 导轨 (X) 每个 2 cm 3 4. LM 导轨 (Y) 每个 2 cm…
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7.2 不同周期的检查项目
DA8MCC-Z0-020-A0
7.2-8
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7.3 基板搬送部
DA8MCC-Z4-000-A0
7.3-1
7.3. 基板搬送部
DA8MCC-Z4-000-A0
7.3.1 X-Y 工作台
装置编号
N610074520AA
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
滚珠丝杠 (X)
每月
2.
滚珠丝杠 (Y)
每个
3 cm
3
位置: 螺纹
3.
LM 导轨 (X)
每个
2 cm
3
4.
LM 导轨 (Y)
每个
2 cm
3
位置: 轨道表面
3 个月
5.
LM 导轨
0.25 cm
3
2. 滚珠丝杠 (Y)
5. LM 导轨
1. 滚珠丝杠 (X)
3. LM 导轨 (X)
4. LM 导轨 (Y)
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7.3 基板搬送部
DA8MCC-Z4-000-A0
7.3-2
7.3.2 定位器
装置编号
N610061375AA
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
每周
a.
基准销
无磨损、损伤。
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
轴旋转部 1 至 2 滴
3 个月
2.
轴滑动部
適量 用含有机油的抹布擦拭
2. 轴滑动部
1. 轴旋转部
a. 基准销