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Tg0434-PM-MT 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 690201 ノズル収納 ノズルストッカ A 1 の開動作が所定時間内に終了しません でした。 690202 ノズル収納 ノズルストッカ A 2 の開動作が所定時間内に終了しません でした。 690203 ノズル収納 ノズルストッカ B 1 の開動作が所定時間内に終了しませ…

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Tg0434-PM-MT
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
690101 ノズル装着 ノズルストッカ A1 の開動作が所定時間内に終了しません
でした。
690102 ノズル装着 ノズルストッカ A2 の開動作が所定時間内に終了しません
でした。
690103 ノズル装着 ノズルストッカ B1 の開動作が所定時間内に終了しません
でした。
690104 ノズル装着 ノズルストッカ B2 の開動作が所定時間内に終了しません
でした。
690105 ノズル装着 ノズルストッカ A1 の閉動作が所定時間内に終了しません
でした。
690106 ノズル装着 ノズルストッカ A2 の閉動作が所定時間内に終了しません
でした。
690107 ノズル装着 ノズルストッカ B1 の閉動作が所定時間内に終了しません
でした。
690108 ノズル装着 ノズルストッカ B2 の閉動作が所定時間内に終了しません
でした。
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
690109 ノズル装着 ノズルを装着できませんでした。
（要因 1） ノズルストッカにセットされているノズルが、ノズル配置データと違って
います。
（復帰方法 1） ノズル配置データを確認し、ノズルを正しい位置に配置してください。
ノズル配置データが間違っている場合は、データを修正してください。
69010a ノズル装着 ノズル長さ異常を検出しました。
69010b ノズル装着
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0107-001 2-101
3.3 異常ID と復帰方法
Tg0434-PM-MT
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
690201 ノズル収納 ノズルストッカ A1 の開動作が所定時間内に終了しません
でした。
690202 ノズル収納 ノズルストッカ A2 の開動作が所定時間内に終了しません
でした。
690203 ノズル収納 ノズルストッカ B1 の開動作が所定時間内に終了しません
でした。
690204 ノズル収納 ノズルストッカ B2 の開動作が所定時間内に終了しません
でした。
690205 ノズル収納 ノズルストッカ A1 の閉動作が所定時間内に終了しません
でした。
690206 ノズル収納 ノズルストッカ A2 の閉動作が所定時間内に終了しません
でした。
690207 ノズル収納 ノズルストッカ B1 の閉動作が所定時間内に終了しません
でした。
690208 ノズル収納 ノズルストッカ B2 の閉動作が所定時間内に終了しません
でした。
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
690209 ノズル収納 ノズルを収納できませんでした。
（要因 1） ノズルストッカにセットされているノズルが、ノズル配置データと違ってい
ます。
（復帰方法 1） ノズル配置データを確認し、ノズルを正しい位置に配置してください。
ノズル配置データが間違っている場合は、データを修正してください。
69020a ノズル収納
690601 ノズル交換インターロック ノズル浮き検出 B1
690602 ノズル交換インターロック ノズル浮き検出 B2
690603 ノズル交換インターロック ノズル浮き検出 A1（オプション）
690604 ノズル交換インターロック ノズル浮き検出 A2（オプション）
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0110-002 2-102
3.3 異常ID と復帰方法
Tg0434-PM-MT
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
6a0101 割基板不良 全ての割り基板でバッドマークを検出しました。
6a0102
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 基板を確認してから、継続運転の判断をしてください。
6b0101 リード浮き検出システム異常 通信タイムアウト
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） リード浮きユニット PC、本体の接続ケーブルを確認してください。
(RS232C ケーブル）
6b0102 リード浮き検出システム異常
6b0103 リード浮き検出システム異常
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
6b1001 リード浮き検出システム異常 ソフトウエア動作環境異常［1000］
6b1011 リード浮き検出システム異常 PC 内メモリ異常［1010］
6b1061 リード浮き検出システム異常 センサヘッド内レーザダイオード異常［1060］
6b1071 リード浮き検出システム異常 信号処理ボード内メモリ異常［1070］
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 装置をシャットダウンし、電源を再投入してください。
6b1081 リード浮き検出システム異常 センサーケーブル未接続［1080］
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） リード浮きユニット PC、センサーヘッド間の接続を確認してください。
6b1091 リード浮き検出システム異常 センサヘッド内スキャナ回転異常［1090］
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） センサヘッドへの電源供給ケーブルの接続を確認してください。
0307-003 2-102-1
3.3 異常ID と復帰方法