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Tg0434-PM-MT 0307-003 2 - 113 3.3 異常 ID と復帰方法 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 761501 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され ました。 （3217,1 ） 761502 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。 （32…

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Tg0434-PM-MT
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3.3 異常 ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
760d01 位置決めコンベア異常検出 排出コンベアの異常を検知しました。（3124,1）
760d02 位置決めコンベア異常検出 BPC軸が動作未準備状態です。（3124,2）
760e01 位置決めコンベア異常検出 ストッパシリンダ動作が所定時間以内に終了しません
でした。（3128,1）
760e02 位置決めコンベア異常検出 BPC軸の異常を検知しました。（3128,2）
760e03 位置決めコンベア異常検出 コンベアモータの異常を検知しました。（3128,3）
760f01 位置決めコンベア異常検出 テストモードの条件に当てはまりませんでした。（3190,1）
761001 位置決めコンベア異常検出 テストモードの条件に当てはまりませんでした。（3191,1）
761101 位置決めコンベア異常検出 供給コンベアの異常を検知しました。（3210,1）
761102 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3210,2）
761103 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3210,3）
761104 位置決めコンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（3210,4）
761105 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3210,5）
761106 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3210,6）
761201 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3212,1）
761202 位置決めコンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（3212,2）
761301 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3215,1）
761302 位置決めコンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（3215,2）
761303 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3215,3）
761401 位置決めコンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（3216,1）
761402 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3216,2）
761403 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3216,3）
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
Tg0434-PM-MT0307-003 2-113
3.3 異常 ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
761501 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3217,1）
761502 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3217,2）
761601 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3218,1）
761701 位置決めコンベア異常検出 BPC軸の異常を検知しました。（3122,1）
761801 位置決めコンベア異常検出 BPC軸の異常を検知しました。（3117,1）
761802 位置決めコンベア異常検出 コンベア上の基板が取り除かれました。（3117,2）
761803 位置決めコンベア異常検出 コンベア上の基板が取り除かれました。（3117,3）
761901 位置決めコンベア異常検出 入り口ストッパが上限にありません。（3113,1）
762001 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3291,1）
762101 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3295,1）
762201 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3310,1）
761b01 位置決めコンベア異常検出 供給コンベアの異常を検知しました。（3205,1）
761b02 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3205,2）
761c01 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3211,1）
761c02 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3211,2）
761d01 位置決めコンベア異常検出 供給コンベアの異常を検知しました。（3213,1）
761d02 位置決めコンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（3213,2）
761e01 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3220,1）
761f01 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3290,1）
761f02 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3290,2）
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
Tg0434-PM-MT
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
762401 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間内に終了しませんでした。（3207,1）
762501 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3292,1）
762601 位置決めコンベア異常検出 BPC軸の異常を検知しました。（3111,1）
762701 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3227,1）
762702 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3227,2）
762703 位置決めコンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（3227,3）
762801 位置決めコンベア異常検出 位置決め位置の基板が取り除かれました。(3320,1)
762802 位置決めコンベア異常検出 位置決め位置の基板が取り除かれました。(3320,2)
762901 位置決めコンベア異常検出 位置決め位置の基板が取り除かれました。(3100,1)
762902 位置決めコンベア異常検出 位置決め位置の基板が取り除かれました。(3100,2)
762a01 位置決めコンベア異常検出 ストッパシリンダ動作が所定時間以内に終了しませんでした。
(3118,1)
（要因1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常IDと復帰方法
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