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Tg0434-PM-MT 1.3 メンテナンスか所 0203-003 1 - 15 Fig. 4A19 (6) (6) (6) (6) (6) 基板位置決め部 基板位置決め部 基板位置決め部 基板位置決め部 基板位置決め部 （ （ （ （ （ P P P P P コンベア） コンベア） コンベア） コンベア） コンベア）
Tg0434-PM-MT
1.3 メンテナンスか所
0307-004 1-14
Fig. 4A18
Tg0434-PM-MT
1.3 メンテナンスか所
0203-003 1-15
Fig. 4A19
(6)(6)
(6)(6)
(6)
基板位置決め部基板位置決め部
基板位置決め部基板位置決め部
基板位置決め部
（（
（（
（
PP
PP
P
コンベア）コンベア）
コンベア）コンベア）
コンベア）
Tg0434-PM-MT
1.3 メンテナンスか所
0203-003 1-16
Fig. 4A20