4OM-1073-002 - 第282页
Tg0434-PM-MT 4.3 認識異常 ID と復帰方法 0307-001 2 - 142 - 2 認識異常 認識異常 認識異常 認識異常 認識異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 02 91 0 00000 グリッドパターン ----- 02 92 0 00000 グリッドパターン ----- 02 93 0 00000 グリッドパターン （分割） --…
Tg0434-PM-MT
認識異常 認識異常
認識異常 認識異常
認識異常
IDID
IDID
ID
異常名 異常名
異常名 異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
02 01 0 00000 エッジ（矩形） -----
02 02 0 00000 コーナー -----
02 03 0 00000 コーナー -----
02 04 0 00000 エッジ（汎用） -----
02 05 0 00000 エッジ（汎用） -----
02 06 0 00000 重心（角度あり） -----
02 07 0 00000 重心（角度あり） -----
02 08 0 00000 重心（角度なし） -----
02 09 0 00000 重心（角度なし） -----
02 10 0 00000 ライン -----
02 11 0 00000 ライン -----
02 31 0 00000 リード -----
02 32 0 00000 リード -----
02 33 0 00000 多ピン（標準） -----
02 34 0 00000 多ピン（標準） -----
02 35 0 00000 多ピン（汎用） -----
02 36 0 00000 多ピン（汎用） -----
02 37 0 00000 リード（特殊） -----
02 38 0 00000 リード（特殊） -----
02 39 0 00000 リード（標準 2） -----
02 40 0 00000 多ピン（標準 2） -----
02 41 0 00000 多ピン（標準 2） -----
4.3 認識異常 ID と復帰方法
0307-001 2-142-1
Tg0434-PM-MT
4.3 認識異常 ID と復帰方法
0307-001 2-142-2
認識異常 認識異常
認識異常 認識異常
認識異常
IDID
IDID
ID
異常名 異常名
異常名 異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
02 91 0 00000 グリッドパターン -----
02 92 0 00000 グリッドパターン -----
02 93 0 00000 グリッドパターン（分割） -----
02 94 0 00000 グリッドパターン（分割） -----
（要因1）装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法1） 当社サービスへ連絡してください。
Tg0434-PM-MT
4.3.34.3.3
4.3.34.3.3
4.3.3
基板認識異常 基板認識異常
基板認識異常 基板認識異常
基板認識異常
AA BB C DDDDD
詳細コード
異常の子分類（1 ∼ 4）
異常の親分類（0 ∼ 1）
認識機能の分類（03）
(a) 異常 ID の“＊”には、詳細コードがはいります。
(b) 記載している異常ID以外が発生した場合は、当社サービス
へ連絡してください。
Table 4B12
認識異常 認識異常
認識異常 認識異常
認識異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明 説 明
説 明 説 明
説 明
03 00 0 ***** ---- その他
03 00 1 ***** ---- 認識範囲内に該当するマークが見つからなかっ
た
03 00 2 ***** ---- マーク近傍の画像状態が不安定
03 00 3 ***** ---- マーク形状の誤差が大きい
03 00 4 ***** ---- マーク形状の誤差が大きい、または、マークサ
イズの誤差が大きい
03 00 6 ***** ---- マークと背景との間に十分なコントラストがな
い
03 01 1 ***** ---- 認識範囲内に該当するマークが見つからなかっ
た
03 02 2 ***** ---- ノズル拡散板を検出した
（要因 1）基板認識マークとパターンプログラムデータ“認識マークの座標 X/Y”ま
たは“基板認識マークデータ”が合っていません。
（復帰方法 1）以下の手順にて復帰してください。
（次ページへ続く）
4.3 認識異常 ID と復帰方法
0307-003 2-143