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Tg0434-PM-MT 4.3.3 4.3.3 4.3.3 4.3.3 4.3.3 基板認識異常 基板認識異常 基板認識異常 基板認識異常 基板認識異常 AA BB C DDDDD 詳細コード 異常の子分類（1 ∼ 4） 異常の親分類（0 ∼ 1） 認識機能の分類（03） (a) 異常 I D の“＊”には、詳細コードがはいります。 (b) 記載している異常ID以外が発生した場合は、当社サービス へ連絡してください。 Table 4B…
Tg0434-PM-MT
4.3 認識異常 ID と復帰方法
0307-001 2-142-2
認識異常 認識異常
認識異常 認識異常
認識異常
IDID
IDID
ID
異常名 異常名
異常名 異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
02 91 0 00000 グリッドパターン -----
02 92 0 00000 グリッドパターン -----
02 93 0 00000 グリッドパターン（分割） -----
02 94 0 00000 グリッドパターン（分割） -----
（要因1）装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法1） 当社サービスへ連絡してください。
Tg0434-PM-MT
4.3.34.3.3
4.3.34.3.3
4.3.3
基板認識異常 基板認識異常
基板認識異常 基板認識異常
基板認識異常
AA BB C DDDDD
詳細コード
異常の子分類（1 ∼ 4）
異常の親分類（0 ∼ 1）
認識機能の分類（03）
(a) 異常 ID の“＊”には、詳細コードがはいります。
(b) 記載している異常ID以外が発生した場合は、当社サービス
へ連絡してください。
Table 4B12
認識異常 認識異常
認識異常 認識異常
認識異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明 説 明
説 明 説 明
説 明
03 00 0 ***** ---- その他
03 00 1 ***** ---- 認識範囲内に該当するマークが見つからなかっ
た
03 00 2 ***** ---- マーク近傍の画像状態が不安定
03 00 3 ***** ---- マーク形状の誤差が大きい
03 00 4 ***** ---- マーク形状の誤差が大きい、または、マークサ
イズの誤差が大きい
03 00 6 ***** ---- マークと背景との間に十分なコントラストがな
い
03 01 1 ***** ---- 認識範囲内に該当するマークが見つからなかっ
た
03 02 2 ***** ---- ノズル拡散板を検出した
（要因 1）基板認識マークとパターンプログラムデータ“認識マークの座標 X/Y”ま
たは“基板認識マークデータ”が合っていません。
（復帰方法 1）以下の手順にて復帰してください。
（次ページへ続く）
4.3 認識異常 ID と復帰方法
0307-003 2-143
Tg0434-PM-MT
（1）〔復帰〕ボタンを押すと、以下のような認識画面が表示されます。
Fig.4B54 認識画面表示例
(2) 実際の認識マークが、クロスラインの中心にある“認識マークの
テンプレート”に位置するように、ポインティングデバイスを操
作します。
注注
注注
注
：：
：：
： 装置精度に影響しますので、拡大表示にて正確に位置合せ
をしてください。
ポインティングデバイスの操作方法ポインティングデバイスの操作方法
ポインティングデバイスの操作方法ポインティングデバイスの操作方法
ポインティングデバイスの操作方法
• ジョイスティックで、実際の認識マークを移動させます。
• 右ボタンで、画面を拡大します。
• 左ボタンで、画面を縮小します。
Fig.4B55
（次ページへ続く）
4.3 認識異常 ID と復帰方法
0203-002 2-143-1