JM-10维修调整要领书 - 第86页

维修调整要领书 9-5 9-4 ． 真空泵部件的更换 使用开始 9 个月后基本上应更换下列消耗部件。请参照以下操作顺序进行更换、擦洗。 表 1 的零件全部包含在 400 99554 VACUUM PUMP MA INTENA NCE KIT 内。 表 1 消耗部件一览（ 40099554 VA CCUM_PUMP_MAINTENA NCE_KIT ） 检查部位 使用数量 检查内容 检查方法 皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 …

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9-3．真空计的更换
１） 请确认真空泵未在运行。
２） 请取下护罩 FB。
３） 请从真空计上取下φ６空气管。
４） 旋转真空计背面的树脂部件，卸下真空计。
５） 装配时请按照相反的顺序进行。
面板托架
真空计
树脂固定部件
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9-4．真空泵部件的更换
使用开始 9 个月后基本上应更换下列消耗部件。请参照以下操作顺序进行更换、擦洗。
表 1 的零件全部包含在 40099554 VACUUM PUMP MAINTENANCE KIT 内。
表 1 消耗部件一览（40099554 VACCUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT）
检查部位
使用数量
检查内容
检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
<更换准备>
１) 请确认真空泵没有运行。
※ 真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，才
可开始进行更换、清扫作业。
２) 请拆下主体正面的外罩。
３) 拆下连接真空泵的气管、再拆下线綑(电源、地线)、
把固定 VAC_PUMP_PLATE 的六角凹头螺栓 (M4×8)
1 根拆下来。
４) 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线綑。)
<更换密封垫圈>
１) 卸下泵头罩②上的 4 根(共 8 根)六角凹头螺栓 (M5×20)⑯。
２) 卸下泵头罩内侧的黑色密封垫圈⑪(共 2 个)，换上新的密封垫圈。
３) 固定泵头罩用的六角凹头螺栓(M5×20)，以 5.0N・m 対角拧紧。
※ 确认密封垫圈套在泵头罩的密封垫圈槽里，注意不要被咬在泵头罩和盘子之间。
图 9-4-1 卸下泵头罩 图 9-4-2 卸下密封垫圈
真空泵
M4×8 螺钉
VAC_PUMP_PLATE
橡胶薄板
该托架是固定在主机上的。
挂钩式
拆下电源、
地线
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<更换 O 圈 S-67、P-10>
１) 按更换密封垫圈的要领，卸下泵头罩盘③。
２) 把气缸④上部的 O 圈 S-67⑩换上新的。
３) 连接泵头罩的每根连接管⑨，有两个 O 圈 P-10⑮。
请换上涂抹了真空润滑油的新 O 圈。
４) 固定泵头罩用的 M5×20，以 5.0N・m 対角拧紧。
※ 在泵头罩上安装连接管时，请确认 O 圈已经涂抹了真空润滑油，插入时，小心不要损伤 O 圈。
图 9-4-3 卸下 O 圈 S-67 图 9-4-4 安装 O 圈 S-67
图 9-4-5 卸下 O 圈 S-10 图 9-4-6 安装 O 圈 S-10
<更换皮碗式密封件、吸气阀防干扰橡胶>
１) 卸下 3 根(共 6 本)埋头小螺钉(M4×8)，拆下固定板⑥、吸气阀防干扰橡胶⑭、皮碗式密封件⑦、气
缸④。
※ 将汽缸上和固定板上的脏污擦干净。
图 9-4-7 皮碗式密封件安装图
埋
头小螺钉
吸气阀防
干扰橡胶
固定板
皮碗式密封件
（※
8OS）
连接杆