SM481_Service Manual - 第193页
ANC 5 10.2. ANC Shut ter 10.2.1. 所需工具 T 型扳手 ( 其它随机工具 ) 或六角扳手 扳手或扭力扳手 镊子、电缆带 10.2.2. Cyli nder 替换次序 1. 操作示教框把 Hea d Assem bl y 最大限度地往两边移 动。 2. 请正常关闭 PC 后，关 闭设备前面的 Ma in Sw itch 。 3. 切断主 (Mai n) 气压 . 4. 拆下连接在 Cy lind…
Advanced High Speed Flexible Mounter
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4. 更换新的气缸 。
参考
新更换的气缸的零件号(Part No.)是 AM03-006977A.
5. 按照拆卸过程的相反顺序进行组装 。
6. 组装新ANC Module。此时,确保器具组装程度X Gantry和ANC平行度: 0.02 mm 以内.
7. 作业完成后，打开设备前面的Main Switch，启动PC。
8. 请更新ANC的Fiducial Position & Mark。
按Scan使Teaching坐标的误差X,Y diff值到0.005mm以内时为止反复进行补正。
为适用Scan补正的坐标，暂先关闭ANC画面，再重新打开。
请确认ANC Pocket的 Position。
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ANC
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10.2. ANC Shutter
10.2.1. 所需工具
T型扳手(其它随机工具)或六角扳手
扳手或扭力扳手
镊子、电缆带
10.2.2. Cylinder替换次序
1. 操作示教框把Head Assembly最大限度地往两边移动。
2. 请正常关闭PC后，关闭设备前面的Main Switch。
3. 切断主(Main)气压.
4. 拆下连接在Cylinder的气压管的电缆.
5. 把固定气缸(Cylinder)的固定螺丝拧开拆下.
6. 更换新的气缸.
参考
新更换的气缸的零件号(Part No.)是 HP03-000083.
7. 按照拆卸过程的相反顺序进行组装.
Cylinder
Cylinder Bracket
Advanced High Speed Flexible Mounter
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10.2.3. ANC Shutter Speed 调节次序
1. 为调整Shutter的Close及Open Speed，在Shutter工作状态下调整Speed Controller.
向顺时针方向转动Speed Controlle为减速，逆时针方向转动为提速。
2. 请确认ANC是否正常工作。
10.2.4. ANC Shutter Open/Close Sensor
1. Shutter的Close状态下边移动 Close感知传感器，确认传感器的亮灯状态来确认感知范
围。(下端传感器)
Speed
Controller
for Open
Speed
Controller
for Close
Sensor
Controller
for Open
Sensor
Controller
for Close