SI-E1000_PL_805 - 第159页
13-1 -4 13-1 オプション 外置 き真空ポンプ Option Exter nal V accum Pump ｲﾗｽﾄ番 号 Ref .No. 部品コード Pa r ts C o d e 部品名 Pa r t s N am e Serial No . 個数 Qty 備考 Remar ks 同期 Repl.
13-1-3
26 4-722-257-01
天板
TOP COVER
1
27 4-722-207-01
ベルト
BELT
-653 1
BANFLEX5M475, ORION MACHINERY 0
27 4-722-361-01
ベルト
BELT
654- 1
35303430040, ORION MACHINERY 1
28 4-722-362-01
モータプーリ
MOTOR PULLY
654- 1
4KB2130101, ORION MACHINERY 1
29 4-722-363-01
ポンププーリ
PUMP PULLY
654- 1
4KB2130201, ORION MACHINERY 1
13-1
オプション 外置き真空ポンプ
Option External Vaccum Pump
ｲﾗｽﾄ番号
Ref.No.
部品コード
Parts Code
部品名
Parts Name
Serial
No.
個数
Qty
備考
Remarks
同期
Repl.
13-1-4
13-1
オプション 外置き真空ポンプ
Option External Vaccum Pump
ｲﾗｽﾄ番号
Ref.No.
部品コード
Parts Code
部品名
Parts Name
Serial
No.
個数
Qty
備考
Remarks
同期
Repl.
14-1-1
14-1
オプション 前側用交換台車（CE 仕様）
Option Trolley with Cassette Bank for Front Side (CE Application)
10
8
9
7
8
9
5
4
11
17
21
20
19
17
17
18
15
16
23
22
24
17
16
15
23
13
11
24
67
66
70
69
68
70
69
68
67
66
65
64
65
63
64
62
63
62
61
59
60
58
53
54
17
55
14
56
57
31
30
33
34
36
37
2
52
40
39
38
51
50
47
48
49
45
46
47
45
44
33
34
40
39
38
37
41
36
32
31
30
17
2
29
2
27
17
26
2
17
3
1
2
1
43
2
35
2
42
28
48
46
47
48
6
12
11
14
11
6
71
7
10
8
9
9
8
25
9