KE-3010_20V_20VR操作手册Ⅰ（操作员）.pdf - 第56页

第 1 部基本編第 3 章维护清扫部位 4-3-2 X轴 CB支撑实施频度：每 6 个月清扫内容清扫灰尘、异物使用工具：抹布用抹布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB（电缆套）支撑座内侧部分。 CB 支撑部分 X 轴电缆套 4-14

第 1 部基本編第 3 章维护

X 轴直动单元

Y 轴直动单元

4-13

第 1 部基本編第 3 章维护

清扫部位

4-3-2 X轴 CB支撑

实施频度：每 6 个月

清扫内容清扫灰尘、异物使用工具：抹布

用抹布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB（电缆套）支撑座内侧部分。

CB 支撑部分

X 轴电缆套

4-14

第 1 部基本編第 3 章维护

清扫部位

4-3-3 各种传送传感器

实施频度：每月

清扫内容清扫传感器视窗使用工具：抹布推荐溶剂：IPA

1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。

如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。

<M、L、L-Wide 基板规格>

WAIT,STOP,C・OUT 传感器

IN,OUT 传感器

4-15