AX-201中文操作手册 - 第7页

4022 593 51292 操作手册 07.02 AX-201 7 UM-00066.fm 第 1 章 1.2 背面部件 图 2 背面 7. 主开关。 8. 急停按钮。 9. 后部触摸屏 （可选） 。 10. 托盘料车。 11 . 供料器 库。 12. 气源单元。 13. 主气阀。 6 7 8 9 10 11 OPEN 12

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1.1 正面部件
图
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正面
1. 灯柱，显示机器状态：
绿色，机器处于处理模式。
蓝色，机器处于错误模式。
白色，机器处于维护模式或空闲模式。
2. 键盘和触摸屏。
3. 急停按钮。
4. 前部和后部保护盖。
5. 供料器料车。
6. 开始按钮。
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1.2 背面部件
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背面
7. 主开关。
8. 急停按钮。
9. 后部触摸屏 （可选）。
10.托盘料车。
11. 供料器库。
12.气源单元。
13.主气阀。
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1.3 基板传板机构
图
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基板传板机构
基板传板机构将基板传送过机器。
1. 进板区域。
2. 工作区域 / 出板。
3. 基板传感器。
4. 利用基板夹紧机制和基板支承销抬起台面。
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Front
Rear
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