AX-201中文操作手册 - 第8页
第 1 章 操作手册 4022 593 51292 8A X - 2 0 1 07.02 UM-00066.fm 1.3 基板传板机构 图 3 基板传板机构 基板传板机构将基板传送过机 器。 1. 进板区域。 2. 工作区域 / 出板。 3. 基板传感器。 4. 利用基板夹紧机制和基板支承销抬 起台面。 4 2 3 Fr ont Rear 1
第 1 章 操作手册 4022 593 51292 8A X - 2 0 1 07.02 UM-00066.fm 1.3 基板传板机构 图 3 基板传板机构 基板传板机构将基板传送过机 器。 1. 进板区域。 2. 工作区域 / 出板。 3. 基板传感器。 4. 利用基板夹紧机制和基板支承销抬 起台面。 4 2 3 Fr ont Rear 1