KE-3010A_机器控制参数 - 第139页
机器控制参数 2- 130 2-5- 38 -2 VCS 选择 2-5- 38 -3 区分 2-5- 38 -4 下降 ・ 上升速度 2-5- 38 -5 默认值 No. 区分 元件 尺寸 推进量 同时检查 有效值 X 同时检查 有效值 Y 数据有效 / 无效 行程 下降速度 上升速度 1 0 ： 0402 2500 1000 1 1 有效 20000 1 ：中速 1 ：中速 2 1 ： 0603 4500 5000 1 1 无效 20…
机器控制参数
2-129
2-5-38
其他
2-5-38-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
分割识别视野间
距离
VCS选择
0 1
参照2-5-38-2 VCS选择
X
Y
2
真空泵交换时间
3
HMS高度測量
限制
最小值
最大值
4
验证元件 真空稳定时间
ms
默认
50
区分
0
9
参照2-5-38-3 区分
元件尺寸
1/10000m
m
参照2-5-38-5 默认值
推进量
1/10000m
m
参照2-5-38-5 默认值
同时检查有效值X
1/10000m
m
参照2-5-38-5 默认值
同时检查有效值Y
1/10000m
m
参照2-5-38-5 默认值
数据有效／无效
参照2-5-38-5 默认值
行程
1/10000m
m
参照2-5-38-5 默认值
下降速度
0 9
参照2-5-38-4参照下
降・上升速度
上升速度
0 9
参照2-5-38-4参照下
降・上升速度
机器控制参数
2-130
2-5-38-2 VCS
选择
2-5-38-3
区分
2-5-38-4
下降・上升速度
2-5-38-5
默认值
No.
区分
元件
尺寸
推进量
同时检查
有效值X
同时检查
有效值Y
数据有效
/
无效
行程
下降速度
上升速度
1
0：0402
2500
1000
1
1
有效
20000
1：中速 1：中速
2
1：0603
4500 5000 1 1
无效
20000
1：中速 1：中速
3
2
：
1005
7500
5000
50000
1500
无效
20000
1
：中速
1
：中速
4
3：1608
11500
5000
50000
4000
无效
20000
1：中速 1：中速
5
4
：
2012
14500
5000
50000
4000
无效
20000
1
：中速
1
：中速
6
5：3216
25000
5000
50000
4000
无效
20000
1：中速 1：中速
7
6：□10
335000
5000
50000
4000
无效
20000
1：中速 1：中速
8
7
：预备
0
0
0
0
无效
0
0
：高速
0
：高速
9
8：预备
0
0
0
0
无效
0
0：高速 0：高速
10
9：圆柱形
芯片
335000 5000 50000 4000
有效
20000
2：低速 2：低速
No.
类别
内容
1
0
标准
VCS
2 1
选配VCS（高析像度照相机）
No.
区分
内容
1 0
s ≦ 0402
2 1
0402 < s ≦ 0603
3
2
0603 < s
≦
1005
4 3
1005 < s ≦ 1608
5 4
1608 < s ≦ 2012
6 5
2012 < s ≦ 3216
7
6
3216 < s
8
7～8 预备
9 9
圆柱形元件
No.
区分
内容
1 0
高速
2
1
中速
3 2
低速
4
3
低速２
5 4
高速２
6
5～9 预备
◆修订履历
改版 日期 修订页 修订内容 备注
1.0 2015.04 從 KE-3010/3020V/3020VR 共用版分離 初版
2.0 2016.07
P2-116, 118, 120～123,
125
RF08-32AS 对应 修订