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4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.1 功能 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 206 4.1.5.4 倒装片经编码位置 （校准后） 4 4 图 4.1 - 9 倒装片经编码位置 （校准后） 0° 原点传感器位置 180° 转送位置，段位器 1 125° 相机 “ 自由 ” 位置 96° 触发位置，段位器 1 90° 原点偏移位置 83…
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.1 功能
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4.1.5.3 晶粒贴附 - 转送位置
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图 4.1 - 8 晶粒贴附 - 转送位置
(1) 晶粒贴附旋转到转送位置。
(2) SIPLACE 贴片头从晶粒贴附段位器拾起芯片，然后旋转到下一个星形位置。
(3) 与此同时，X 轴将 1 号段位器撤回到起始位置。
(4) 倒装片单元 - 1 号段位器旋转到转送位置然后拾起下一个芯片。
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请注意
在使用晶粒贴附单元时，倒装片单元中只有 1 号段位器被激活。
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.1 功能 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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4.1.5.4 倒装片经编码位置 （校准后）
4
4
图 4.1 - 9 倒装片经编码位置 （校准后）
0°
原点传感器位置
180°
转送位置，段位器 1
125°
相机 “ 自由 ” 位置
96°
触发位置，段位器 1
90°
原点偏移位置
83°
触发位置，段位器 2
58°
相机 “ 自由 ” 位置
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使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.1 功能
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图 4.1 - 10 倒装旋转轴的初始化
(1) 机械停止
(2) 原点传感器
原点传感器被用于初始化倒装旋转轴。在初始化期间旋转轴将缓慢移动，直到原点传感器被触
发。之后将在旋转轴的一个 0-30° 的区域内查找第一个零脉冲。通过这个操作倒装旋转轴的零点
位置将被定义。
弃置箱
2 号段位器
弃置箱
1 号段位器
1. 机械停止
2. 原点传感器