00197546-03_UM_SiplaceCA-Serie_ZH - 第208页

4 SIPL ACE 晶圆系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.1 功能使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版简体中文 208 4 图 4.1 - 11 倒装头 / 晶粒贴附段位器的位置倒装头的转送位置，拾取和释放位置，以及贴片头晶粒贴附段位器的转送位置。

《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)

使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版简体中文 4.1 功能

207

图 4.1 - 10 倒装旋转轴的初始化

(1) 机械停止

(2) 原点传感器

原点传感器被用于初始化倒装旋转轴。在初始化期间旋转轴将缓慢移动，直到原点传感器被触

发。之后将在旋转轴的一个 0-30° 的区域内查找第一个零脉冲。通过这个操作倒装旋转轴的零点

位置将被定义。

弃置箱

2 号段位器

弃置箱

1 号段位器

1. 机械停止

2. 原点传感器

4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列

4.1 功能使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版简体中文

208

图 4.1 - 11 倒装头 / 晶粒贴附段位器的位置

倒装头的转送位置，拾取和释放位置，以及贴片头晶粒贴附段位器的转送位置。

《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)

使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版简体中文 4.2 模块总览

209

4.2 模块总览

图 4.2 - 1 SWS 总览

(1) 夹持器 (2) 倒装单元

(3) 可选件（晶粒贴附单元或线性浸渍单元）

的安装位置

(4) 晶粒推送器

(5) 供应单元 (6) X 单元

(7) 晶圆盘升降机