00197546-03_UM_SiplaceCA-Serie_ZH - 第209页
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 1 2 月版 简体中文 4.2 模块总览 209 4.2 模块总览 4 图 4.2 - 1 SWS 总览 4 (1) 夹持器 (2) 倒装单元 (3) 可选件 （晶粒贴附单元或线性浸渍单元 ） 的安装位置 (4) 晶粒推送器 (5) 供应单元 (6) X 单元 (7) 晶圆盘升降机 1 2 3 4 …
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.1 功能 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
208
4
图 4.1 - 11 倒装头 / 晶粒贴附段位器的位置
倒装头的转送位置，拾取和释放位置，以及贴片头晶粒贴附段位器的转送位置。
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.2 模块总览
209
4.2 模块总览
4
图 4.2 - 1 SWS 总览
4
(1) 夹持器 (2) 倒装单元
(3) 可选件 （晶粒贴附单元或线性浸渍单元）
的安装位置
(4) 晶粒推送器
(5) 供应单元 (6) X 单元
(7) 晶圆盘升降机
1
2
3
4
5
6
7
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.2 模块总览 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
210
4
图 4.2 - 2 SWS 的供应，前视图
4
(1) 电子单元 前 (2) 计算机单元
(3) 变压器 (4) 压力开关
(5) 主电源滤波器 (6) 电磁阀
(7) 保护盖
3
2
1
7
6
5
4