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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 1 2 月版 简体中文 4.2 模块总览 211 4 图 4.2 - 3 SWS 的模块总览 (1) 夹持单元 (2) 晶圆相机 (3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件 (5) 导轨 4 3 1 2 5
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.2 模块总览 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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图 4.2 - 2 SWS 的供应，前视图
4
(1) 电子单元 前 (2) 计算机单元
(3) 变压器 (4) 压力开关
(5) 主电源滤波器 (6) 电磁阀
(7) 保护盖
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.2 模块总览
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图 4.2 - 3 SWS 的模块总览
(1) 夹持单元 (2) 晶圆相机
(3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件
(5) 导轨
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.3 SWS 的模块说明 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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4.3 SWS 的模块说明
4.3.1 供应单元
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图 4.3 - 1 供应单元
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(1) 测量压缩空气供给的压力计 (2) 电压供应
(3) 与 SIPLACE 设备的通讯 (4) CAN 总线
(5) 压缩空气连接 （改装型适配虚拟连接器
[03011592-01]）
(6) LAN1
(7) LAN2
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