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4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.3 SWS 的模块说明 使用软件版本 SC.708.0 或更 新 2014 年 12 月版 简体中文 212 4.3 SWS 的模块说明 4.3.1 供应单元 4 图 4.3 - 1 供应单元 4 (1) 测量压缩空气供给 的压力计 (2) 电压 供应 (3) 与 SIPLACE 设备的通讯 (4) CAN 总线 (5) 压缩空气连接 （改装…
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.2 模块总览
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图 4.2 - 3 SWS 的模块总览
(1) 夹持单元 (2) 晶圆相机
(3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件
(5) 导轨
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.3 SWS 的模块说明 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
212
4.3 SWS 的模块说明
4.3.1 供应单元
4
图 4.3 - 1 供应单元
4
(1) 测量压缩空气供给的压力计 (2) 电压供应
(3) 与 SIPLACE 设备的通讯 (4) CAN 总线
(5) 压缩空气连接 （改装型适配虚拟连接器
[03011592-01]）
(6) LAN1
(7) LAN2
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.3 SWS 的模块说明
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4.3.2 倒装单元
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图 4.3 - 2 倒装单元
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(1) 倒装头 (2) 吸嘴或工具的接收器
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