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4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.4 可选元件 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 230 4 图 4.4 - 3 条形码扫描仪 - 在晶 圆交换器中的安装示例 (1) 条形码扫描仪 4.4.5.1 技术数据 1 印制板大小 长度 50 mm 至 610 mm 宽度 50 mm 至 508 mm 厚度 0.3 mm 至 4.5 mm 曲…
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.4 可选元件
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4.4.3 小晶粒套件
在处理小于 1 mm 的晶粒时需要使用小晶粒套件。此套件作为选用件可根据要求提供，它由以下
部件组成：
– 高分辨率相机系统
– 一个小晶粒推送工具
– 一个元件传感器
4.4.4 晶圆布局图系统
晶圆测绘正在成为晶粒贴装工艺中的一个标准配备。晶圆布局图为晶圆上的每个晶粒分配了一个
功能级别。
功能级别可能是简单的 “ 好 ” 或者 “ 坏 ”。但是最多可以分配 255 个级别以详细描述晶粒的属性。
首先，SWS 需要识别晶圆。一般而言，这一步需要通过读取晶圆框上的条形码完成。之后这个晶
圆 ID 将被用于选择晶圆布局图服务器中所要求的晶圆文件。
在第二步中，从晶圆布局图文件 （栏 / 行）中提取的晶粒 ID 按照晶粒在晶圆上的真实位置被设
定。此位置可以通过识别晶圆上特别的参考晶粒和确定晶圆的中心点计算得出。
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晶圆布局图功能主要是一个软件的选项。它包括了晶圆布局图文件的一个服务器系统，并将客户
特定晶圆布局图标准转换为 SWS 标准。
4.4.5 条形码扫描仪
SWS 上的条形码扫描仪用于读取晶圆框上的条形码。
请注意
位置计算
在晶圆边缘识别功能的帮助下对位置的计算只有对 3 mm 或更大的晶粒来说是可靠的。
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.4 可选元件 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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图 4.4 - 3 条形码扫描仪 - 在晶圆交换器中的安装示例
(1) 条形码扫描仪
4.4.5.1 技术数据
1
印制板大小
长度 50 mm 至 610 mm
宽度 50 mm 至 508 mm
厚度 0.3 mm 至 4.5 mm
曲度 最高 0.5 mm
印制板类型 PCB、FR4、BGA、Boat、Leadframe
SIPLACE 晶圆系统
贴装方法 倒装片、晶粒贴附
晶粒大小 0.8 mm x 0.8mm 到 12 x12 mm
（根据要求可提供更大的晶粒）
晶粒厚度 0.05 mm 到 4 mm
晶圆大小 最大到 12"
框架大小 最大到 15"
晶圆盒 最大 25 个插槽
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
可使用 SIPLACE SWS 晶圆延伸器选项为两种不同的晶圆支撑 （8" 或 12"）配置 SIPLACE 晶圆
系统 (SWS)。
SIPLACE SWS 晶圆延伸器由以下几种主要的装配件构成。
–延伸器
延伸器会对晶圆料膜进行延伸，从而提高料膜上各个晶粒之间的距离。 4
–加热器
加热器由一个加热元件与一个风扇构成。风扇会将晶圆料膜上的热空气吹走。这将减少料膜
的松散现象 （小于 9 mm)，从而使晶圆可被运回至晶圆盘上。 4
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图 4.5 - 1 晶圆支撑与 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器
(1) 含晶圆支撑的拉伸器框架
(2) 加热器风扇
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