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4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更 新 2014 年 12 月版 简体中文 238 4.5.6.2 设置 图 4.5 - 5 晶圆支撑 - 设置框架宽 度 将四个点 (1) 上的螺钉取下并将 其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108） 。 将相关点 (2) 上的螺钉取下并将 其安装到…
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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4.5.6 为 8" 晶圆支撑设置框架宽度
应为 8" 晶圆支撑设置晶圆的宽度。12" 晶圆支撑则不需此设置。
可处理宽度达 10.5" (FF 105) 或 10.8" (FF 108) 的晶圆。机械调整必须在七个位置（取决于宽度）
上进行。
4.5.6.1 准备
将 SWS 模块上的所有当前流程关闭。
将晶圆台移动至转换位置。
在视图中，选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 转至更改位置。
打开夹具。
在视图中，选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 打开晶圆夹具。
– 夹具将打开，而膨胀环将向下移动。
打开扩充器
在视图中，选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 释放拉伸器。
– 下按装置将向上移动。
在视图中，选择生产 -> 其它并单击那里的红色 "off" （关闭）按钮。
SWS GUI 和 Linux 将正确关闭。 4
在主开关处关闭 SWS。
谨慎
避免损坏夹持器
当您在晶圆支撑上作业时，夹持器可能会被损坏。
将夹持器朝向晶圆抬升的方向推，将其推离晶圆支撑的作业区。
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4.5.6.2 设置
图 4.5 - 5 晶圆支撑 - 设置框架宽度
将四个点 (1) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (2) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (3) 上的螺钉拧松并将其安装在所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (4) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
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4.5.7 转换晶圆支撑
为了能通过 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器使用各种不同的晶圆尺寸 （8" 与 12"），您需要转换
SIPLACE SWS 晶圆拉伸器。
您可以按照以下方式订购 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器：
– 00519717-xx 12 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 4
– 03079734-xx 8 英寸改装套件
或
– 00519719-xx 8 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 4
– 00519720-xx 12 英寸改装套件
以下说明描述了从一个 8" 到 12" 晶圆支撑的转换过程 （另请参阅 表 12" 转换至 8 的差异，第
252 页）。